深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

芯片刻蝕機(jī)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號ELEDE® 380系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間:2024-09-05 14:26:03瀏覽次數(shù):352次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機(jī),優(yōu)良的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

1. 產(chǎn)品概述

ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機(jī),優(yōu)良的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

2. 設(shè)備用途/原理

優(yōu)良的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬多片式托盤,實現(xiàn)高產(chǎn)能,同時確保優(yōu)異的刻蝕均勻性全路徑全真空,全自動晶圓傳輸,顆??刂苾?yōu)。工藝套件設(shè)計,更長的耗材壽命。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸4、6 英寸及特殊尺寸。適用材料  藍(lán)寶石、氮化鎵、氧化硅 / 氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氧化硅、氮化硅、鈦鎢、有機(jī)物。適用工藝 PSS 刻蝕、電刻蝕、深槽隔離刻蝕、介質(zhì)反射層(DBR)刻蝕、紅黃光刻蝕、鈍化層刻蝕、金屬阻擋層刻蝕適用域化合物半導(dǎo)體

深硅刻蝕機(jī)

深硅刻蝕機(jī)PSE V300主要用于12英寸深硅刻蝕,同時兼具Bosch

深硅刻蝕機(jī)

深硅刻蝕機(jī)HSE P300主要用于12英寸硅刻蝕。采用Cluster結(jié)

等離子刻蝕集群系統(tǒng)

SENTECH 集群系統(tǒng)包括等離子體蝕刻和/或沉積模塊、一個轉(zhuǎn)移室和一

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。

溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

撥打電話
在線留言