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無(wú)針孔薄膜沉積設(shè)備

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)AL-1

品牌SAMCO

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國(guó)外

更新時(shí)間：2024-09-06 11:36:36瀏覽次數(shù)：263次

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AL-1無(wú)針孔薄膜沉積設(shè)備通過(guò)交替向反應(yīng)室提供有機(jī)金屬原料和氧化劑，僅利用表面反應(yīng)沉積薄膜，實(shí)現(xiàn)了高膜厚控制和良好的步驟覆蓋率。薄膜的厚度可以控制在原子層的數(shù)量。此外，可以在高寬比的孔內(nèi)壁上沉積覆蓋性好、厚度均勻的薄膜?？赏瑫r(shí)沉積3片ø4英寸的晶片。

1. 產(chǎn)品概述

AL-1通過(guò)交替向反應(yīng)室提供有機(jī)金屬原料和氧化劑，僅利用表面反應(yīng)沉積薄膜，實(shí)現(xiàn)了高膜厚控制和良好的步驟覆蓋率。薄膜的厚度可以控制在原子層的數(shù)量。此外，可以在高寬比的孔內(nèi)壁上沉積覆蓋性好、厚度均勻的薄膜?？赏瑫r(shí)沉積3片?4英寸的晶片。

2. 設(shè)備用途/原理

用于下一代功率器件的柵氧化膜和鈍化膜。在3D結(jié)構(gòu)上形成均勻的薄膜，如MEMS。激光表面的沉積。碳納米管的鈍化膜。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

成膜效率高，通過(guò)提供幾十毫量的脈沖，減少了原材料的損耗，提高了沉積效率。真空清潔，溫度不均勻性小，通過(guò)緊貼反應(yīng)室內(nèi)壁的內(nèi)壁加熱器，抑制反應(yīng)室的溫度不均勻，可獲得清潔的真空。無(wú)針孔成膜，由于多種驅(qū)體在反應(yīng)室中沒(méi)有混合，因此可以防止顆粒，形成無(wú)針孔的薄膜。


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