1 產品概述:

   有機EL成膜設備SOLCIET是一款專為有機電致發(fā)光（Organic Electroluminescence, OLED）技術設計的先進制造設備。該設備由多個獨立的腔室構成，包括前室、有機鍍膜室、電極鍍膜室、中間室和glove box等，形成了一個從材料評價到產品特性評價的完整實驗系統(tǒng)。SOLCIET設備提供了豐富的選項，如濺射陰極和各種蒸發(fā)源，以擴大實驗用途的范圍，并滿足不同研究和生產的需求。其基板尺寸標準通常為100mm，確保了與多種基板的兼容性。

2 設備用途：

   有機EL成膜設備SOLCIET主要用于有機電致發(fā)光（OLED）顯示屏和照明產品的制造過程中。具體來說，它可以在高真空環(huán)境下，通過物理或化學方法將有機材料均勻地沉積在基板表面，形成有機發(fā)光層和其他功能層。這些層是OLED器件的核心部分，對器件的性能和壽命有著至關重要的影響。因此，SOLCIET設備在OLED技術的研發(fā)、生產和質量控制中發(fā)揮著關鍵作用。

3 設備特點

  多腔室設計：SOLCIET設備采用多腔室設計，每個腔室都獨立控制，可以有效避免不同工藝步驟之間的交叉污染，提高產品質量。

  高精度控制：設備配備了高精度的控制系統(tǒng)，可以精確控制鍍膜速度、厚度和均勻性等關鍵參數(shù)，確保有機發(fā)光層的質量和性能。

  豐富的選項：提供了多種濺射陰極和蒸發(fā)源選項，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的配置，以滿足不同材料和工藝的要求。

  高兼容性：基板尺寸標準統(tǒng)一，與多種基板兼容，方便用戶在不同項目和研究中靈活切換。
4 技術參數(shù)和特點：

SOLCIET有室、有機鍍膜室、電鍍膜室、中間室和glove box獨立的腔室構成、可以進行從材料評價到產品特性評價的實驗系統(tǒng)。我們還提供豐富的選項，如濺射陰和各種蒸發(fā)源，以擴大實驗用途的范圍。對應的基板尺寸標準是100mm。SATELLA采用獨立的工藝室制造多腔室樣式，可以進行SOLCIET難以進行的全色產品評估。它有一個8角形傳輸室，可根據(jù)實際需求容納2到4個有機沉積室。此外，它配備了高精度的掩模對準機制，并支持有源矩陣全彩設備（active matrix full-color device）。對應的電路板尺寸的標準是200 mm。ZELDA系列是批量生產兼容系統(tǒng)。我們有豐富的應用，包括新開發(fā)的蒸發(fā)源。可以對應的電路板尺寸是G2或更大。