1. 產品概述:
液體蠟貼片機是一種專門用于半導體制造和微電子封裝領域的設備。它通過將液體蠟精確地涂覆在晶片表面,并經過一系列自動化流程(如甩蠟、烘烤、貼片等),將晶片牢固地鍵合到載具(如陶瓷盤)上。該設備結合了機-電-光和計算機控制技術,實現(xiàn)了高精度、高效率的晶片貼附操作。
2. 設備用途/原理:
全自動液體蠟貼片機液體蠟貼片機主要用于以下場景:
1 半導體制造:在半導體晶圓的生產過程中,需要將晶圓精確地貼附到陶瓷盤等載具上,以便進行后續(xù)的加工和測試。液體蠟貼片機能夠確保晶圓貼附的精度和一致性,提高生產效率和產品質量。
2 微電子封裝:在微電子器件的封裝過程中,需要將芯片等元件精確地貼附到封裝基板上。液體蠟貼片機能夠實現(xiàn)芯片的高速、高精度貼附,滿足微電子封裝領域對精度和效率的高要求。
3 光電技術:在光電技術的研發(fā)和生產過程中,也常常需要用到液體蠟貼片機來確保光學元件的精確貼附。
3. 設備特點
液體蠟貼片機具有以下幾個顯著特點:
1.高度自動化:設備能夠自動完成從晶片取放到最終貼附的全程操作,減少人工干預,提高生產效率和一致性。
2.高精度:采用先進的控制系統(tǒng)和精密的機械結構,能夠確保晶片貼附的精度和位置準確性。這對于半導體制造和微電子封裝等領域來說至關重要。
3.多功能性:通過搭配不同的夾具和工藝參數(shù),設備可以適應不同尺寸、不同厚度的晶片貼附需求。這種靈活性使得液體蠟貼片機能夠廣泛應用于各種生產場景。
4.易操作性:設備通常采用PLC觸摸屏控制,界面友好,操作簡便。這使得操作人員能夠輕松上手并快速掌握設備的操作方法。
5.穩(wěn)定可靠:液體蠟貼片機在設計上注重穩(wěn)定性和可靠性,能夠在長時間、高負荷的生產環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能輸出。這有助于降低設備故障率并延長設備使用壽命。
4. 設備參數(shù)
項目 | TLB-360A | TLB-485A |
晶圓尺寸 | 2-6 inch | 4-8 inch |
陶瓷盤規(guī)格 | OD360 mm | OD485 mm |
上片方式 | 全自動 | 全自動 |
甩蠟轉速 | 0-3000 RPM | 0-3000 RPM |
烘烤溫度 | Max350℃ | Max350℃ |
壓片裝置 | 氣囊+氣缸二段壓片 | 氣囊+氣缸二段壓片 |
加熱溫度 | Max250℃ | Max250℃ |
陶瓷盤冷卻系統(tǒng) | 有 | 有 |