深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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CMP后清洗機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號TSC-100/300S/200L

品牌特思迪

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間：2024-09-06 11:15:58瀏覽次數(shù)：209次

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該系列設(shè)備是晶圓CMP后的專用清洗設(shè)備，有單工位、轉(zhuǎn)位式、連線式等不同結(jié)構(gòu)，以適用不同應(yīng)用場景，其中連線式設(shè)備加配全自動上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進干出，適用于各類CMP后晶圓的清洗。

該系列設(shè)備是晶圓CMP后的用清洗設(shè)備，有單工位、轉(zhuǎn)位式、連線式等不同結(jié)構(gòu)，以適用不同應(yīng)用場景，其中連線式設(shè)備加配全自動上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進干出，適用于各類CMP后晶圓的清洗。 

功能齊全

系列設(shè)備均配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能

操作簡便

PLC系統(tǒng)，觸摸屏控制，一鍵式自動完成刷洗清洗加工，其中連線式設(shè)備配有全自動上下片系統(tǒng)，cassette to cassette使用更加方便

兼容性好

通過更換夾具，可兼容4-12英寸晶圓

占地面積小

盡量減少潔凈間的占地面積

產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格/型號TSC-100TSC-300STSC-200L
工藝單面刷洗雙面刷洗雙面刷洗
清洗工位單腔單工位單腔單工位連線式6工位
上下片手動手動全自動
機械手無無雙臂機械手
晶圓尺寸4-6 inch4-12 inch6-8 inch
漂洗（預(yù)清洗）DIW沖洗DIW沖洗DIW沖洗
刷洗機構(gòu)1個PVA刷，單面刷洗2個PVA刷，雙面刷洗2個PVA刷，雙面刷洗
兆聲清洗可選可選可選
氮氣吹干有有有



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