1.產(chǎn)品概述：

Laurell的WS-650-15B型勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，具有先進(jìn)的功能。這款650系列系統(tǒng)將可容納高達(dá)300mm的晶圓和9英寸×9英寸（229mm×229mm）基板，大轉(zhuǎn)速為12,000RPM（基于100mm硅片）。

2.設(shè)備原理：

利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。

3.產(chǎn)品特色：

650系列過(guò)程控制器采用堅(jiān)固的微處理器，并使用其隨附的PC軟件（編寫(xiě)在面向?qū)ο蟮木幊陶Z(yǔ)言中），它在過(guò)程中都實(shí)現(xiàn)了高的靈活性定義和使用。該控制器允許操作員在流程執(zhí)行過(guò)程中進(jìn)行實(shí)時(shí)交互，包括暫停時(shí)間、停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過(guò)可下載的固件修訂版在現(xiàn)場(chǎng)輕松快速地持續(xù)更新。

650系列控制器也可以與帶有Spin3000（Laurell的過(guò)程管理軟件）的PC結(jié)合使用。使用PC增加了在運(yùn)行過(guò)程、遠(yuǎn)程操作、編程或通過(guò)LAN或Internet進(jìn)行通信時(shí)記錄過(guò)程的能力。該軟件免費(fèi)提供，使操作員能夠創(chuàng)建虛擬過(guò)程模擬，甚至超出硬件安裝的旋轉(zhuǎn)處理器的能力，實(shí)際上讓他們?cè)谶M(jìn)入過(guò)程之可以嘗試一下。所有650個(gè)系統(tǒng)都可以通過(guò)簡(jiǎn)單的插件模塊進(jìn)行升或重新使用，而無(wú)需返回工廠，無(wú)論是實(shí)際還是虛擬，并且可以包含幾乎無(wú)限數(shù)量的流程和步驟。