1. 尺寸
48英寸（寬）x433/8英寸（深）x741/4英寸（高）（121.9厘米（寬）x110.04厘米（深）x188.60厘米（高）
2. 典型工藝
蝕刻
顯影—水性/溶劑
清潔—水性/溶劑
硫酸/過(guò)氧化物（原位混合）
HBr
溫控顯影
漂洗/烘干
3. 特征
全聚丙烯結(jié)構(gòu)（可提供自熄功能）
適合安裝任何Laurell旋轉(zhuǎn)處理器
穿孔濕甲板（易于拆卸）
濕式增壓室
帶儀表的排氣增壓室
下方為加熱器、泵、容器的隔離組件/抽屜......
4. 選項(xiàng)
觸摸屏控制界面
觀看LaurellTouch演示視頻
處理器排氣聯(lián)鎖（EDC™型號(hào)標(biāo)配）
化學(xué)加熱
通過(guò)壓力容器物料攪拌（磁性）
沖洗至電阻率
排水分流器
真空裝載棒
晶圓盒支架
泄漏檢測(cè)
燈塔
如有需要，可提供高材料
5. 阻燃選項(xiàng)
WS-1000-CP7-D—聚丙烯配方其阻燃特性符合嚴(yán)格的FMRC4910測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于大多數(shù)方面的阻燃性、自熄性和燒穿特性。這種先進(jìn)的材料還達(dá)到或超過(guò)了低煙霧產(chǎn)生和小有毒副產(chǎn)物的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。
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