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Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀

參  考  價:50000 - 100000 /件
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號

    RLD10

  • 品牌

    RENISHAW/英國雷尼紹

  • 廠商性質

    經銷商

  • 所在地

    東莞市

更新時間:2023-12-12 15:08:52瀏覽次數(shù):687次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網
產地類別 進口 價格區(qū)間 5萬-10萬
應用領域 電子,交通,汽車,電氣
Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10
RLD10發(fā)射頭內含有干涉鏡組、多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。

Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10

RLD10發(fā)射頭內含有干涉鏡組、多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。

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特性與優(yōu)點

雙軸解決方案 — 雙軸平面鏡系統(tǒng)是XY平臺應用的理想解決方案。

高分辨率 — 與角錐反射鏡系統(tǒng)相比,平面鏡系統(tǒng)還可用于要求更高分辨率的應用。

敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號的平面鏡干涉儀發(fā)射頭。適合其功耗要求低于標準RLD額定值(即 < 2 W)的應用。

規(guī)格

軸行程0 m至1 m
分辨率(使用RLU配置)

模擬正交 = λ/4 (158 nm)
數(shù)字正交 = 10 nm
RPI20分辨率 = 38.6 pm

系統(tǒng)非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于50 mm/s且信號強度 > 70%時 <±2.5 nm
1 m/s且信號強度 > 50%時 <±7.5 nm
最高速度可達1 m/s










對于非真空應用,為了維持變動環(huán)境條件下的精度,需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實時正交補償系統(tǒng),用于對環(huán)境變化進行補償。

若選用RPI20并行接口并集成到RLE系統(tǒng)中,可達到38.6皮米的分辨率。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,并提供并行輸出格式。

Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10

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