當前位置:入江貿易(東莞)有限公司>>Renishaw>> RLD10Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀
產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
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應用領域 | 電子,交通,汽車,電氣 |
Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10
RLD10發(fā)射頭內含有干涉鏡組、多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。
特性與優(yōu)點
雙軸解決方案 — 雙軸平面鏡系統(tǒng)是XY平臺應用的理想解決方案。
高分辨率 — 與角錐反射鏡系統(tǒng)相比,平面鏡系統(tǒng)還可用于要求更高分辨率的應用。
敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號的平面鏡干涉儀發(fā)射頭。適合其功耗要求低于標準RLD額定值(即 < 2 W)的應用。
軸行程 | 0 m至1 m |
分辨率(使用RLU配置) | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/s且信號強度 > 70%時 <±2.5 nm 1 m/s且信號強度 > 50%時 <±7.5 nm |
最高速度 | 可達1 m/s |
對于非真空應用,為了維持變動環(huán)境條件下的精度,需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實時正交補償系統(tǒng),用于對環(huán)境變化進行補償。
若選用RPI20并行接口并集成到RLE系統(tǒng)中,可達到38.6皮米的分辨率。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,并提供并行輸出格式。
Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10
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