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Renishaw雷尼紹差分干涉儀

參  考  價:10000 - 50000 /件
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號

    RLD10 DI

  • 品牌

    RENISHAW/英國雷尼紹

  • 廠商性質

    經(jīng)銷商

  • 所在地

    東莞市

更新時間:2024-12-06 20:48:44瀏覽次數(shù):1001次

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 1-5萬
應用領域 電子,交通,冶金,電氣
Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI允許測量相對于定義參考對象的位置變化。

Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI概述:

差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。

差分發(fā)射頭具有光學設計,可實現(xiàn)極低的SDE性能。內置的激光準直輔助鏡可在設定過程中實現(xiàn)俯仰和扭擺角度調整,從而改進準直過程(僅適合平面鏡應用)。

RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進入工作腔即可校正光路,內置激光準直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進行獨立的調整,安裝系統(tǒng)的設計允許拆卸發(fā)射頭和調整發(fā)射頭位置,對系統(tǒng)準直的影響極小。

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特性與優(yōu)點:

測量性能-ppb穩(wěn)頻精度,超低周期誤差,輸出分辨率達到38.6pm。

差分配置-測量運動平臺相對于安裝立柱的位移,從而消除常見模式誤差,例如與環(huán)境波動有關的工作區(qū)側壁移動。

快速調節(jié)準直-采用四個內置激光準直輔助鏡,很簡單地在真空室外部進行準直調整,從而消除真空室和鏡組安裝公差。

通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能,必將成為真空室和其他空調嚴格控制環(huán)境中的應用的理想選擇。

Renishaw雷尼紹差分干涉儀規(guī)格:

軸行程

0m-1m

分辨率(使用RLU配置)

模擬正交=λ/4 (158nm)
數(shù)字正交=10nm
RPI20分辨率=38.6pm

系統(tǒng)非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于50mm/s且信號強度>70%時<±1nm
1m/s且信號強度>50%時<±6nm

最高速度

最高可達1m/s






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