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鐳測科技雙頻激光干涉儀

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 LH2000
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2024-03-18 17:26:08瀏覽次數(shù):535

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,航天 光源頻率 雙頻
測量范圍(m) 40米 線性分辨力(um) ?0.001um
穩(wěn)頻精度(ppm) ±0.02ppm 線性測量精度(ppm) ?±0.1ppm(真空中)?±0.4ppm
穩(wěn)頻方式 ?雙頻激光熱穩(wěn)頻 預(yù)熱時間 ?≤6分鐘
鐳測科技雙頻激光干涉儀LH2000滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求;以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ),在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率性能的同時,將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里,一體化設(shè)計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗;典型頻差7±0.5 MHz,測速高達2m/s。

詳細介紹

鐳測科技雙頻激光干涉儀LH2000滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求;以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ),在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率的同時,將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里,一體化設(shè)計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗;典型頻差7±0.5 MHz,測速高達2m/s。

系統(tǒng)組成:
鐳測科技雙頻激光干涉儀 LH2000激光測頭及附件
環(huán)境補償單元
LaserLC測量軟件
線性位移測量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等)
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測量附件

激光頭尺寸330mm×110mm×95mm
激光頭重量3.3kg
激光光束直徑6mm
激光功率>0.5mw
真空波長632.99nm
頻差可定制 典型值7±0.5 MHz
工作溫度范圍+10℃~+30℃
儲存溫度范圍+15℃~+45℃
激光穩(wěn)頻精度±0.02ppm
線性測量范圍40m
線性測量精度±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補償器)
分辨率1nm
測量速度2m/s
工作電源220V/50Hz




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