產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | 光源頻率 | 雙頻 |
測(cè)量范圍 | 40米 | 線性分辨力(um) | 0.001um |
穩(wěn)頻精度(ppm) | ±0.4?ppm | ?線性測(cè)量精度(ppm) | ±0.4?ppm |
穩(wěn)頻方式 | 雙頻激光熱穩(wěn)頻 | 預(yù)熱時(shí)間 | ≤6分鐘 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測(cè)目標(biāo)上設(shè)置靶鏡,以反射測(cè)量光線獲得高精度的測(cè)量結(jié)果。鐳測(cè)科技推出的鐳測(cè)科技非接觸式激光干涉儀LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀,無(wú)需靶鏡,僅利用待測(cè)工件反射甚至是散射的微弱光線即可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量,是真正意義上的非接觸式測(cè)量。 除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測(cè)量目標(biāo)外,還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測(cè)量,如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)、振動(dòng)等。
以下是本產(chǎn)品的技術(shù)或特點(diǎn):
1、高靈敏度,可實(shí)現(xiàn)對(duì)非配合目標(biāo)的非接觸式測(cè)量
2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移,儀器具有較小的零漂。
3、具有較高的分辨率和較大量程,測(cè)量結(jié)果可以溯源。
鐳測(cè)科技非接觸式激光干涉儀LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達(dá)納米量級(jí),量程可達(dá)2m,如果加擴(kuò)束鏡,可達(dá)數(shù)米。它同干涉儀一樣,測(cè)量結(jié)果可以溯源到光波長(zhǎng),從而無(wú)需標(biāo)定。產(chǎn)品由激光測(cè)頭、信號(hào)處理電箱和軟件組成。
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