目錄:上海激譜光電有限公司>>旋轉(zhuǎn)和傾斜平臺(tái)>>直流電機(jī)電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)>> ZVR-PC用于晶片定位的集成垂直旋轉(zhuǎn)臺(tái)
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更新時(shí)間：2025-01-23 08:39:13瀏覽次數(shù)：530評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
ZVR 通過(guò)沿著旋轉(zhuǎn)平臺(tái)外圓周的三個(gè)點(diǎn)（以 120 度分開(kāi)）剛性地支撐和驅(qū)動(dòng)有效載荷。常規(guī)設(shè)計(jì)在旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心使用一個(gè)單個(gè)凸輪、楔塊或螺絲。具有串聯(lián)導(dǎo)軌和驅(qū)動(dòng)機(jī)制的 Newport 的三點(diǎn)設(shè)計(jì)具有很多優(yōu)點(diǎn)，非常適用于輕微到不平衡載荷應(yīng)用（例如，晶片探測(cè)），可以沿著卡盤(pán)的外邊緣位置施加垂直力。因這些偏心負(fù)載造成的角變形降低到最小程度，并且在垂直運(yùn)動(dòng)期間也不存在彎曲現(xiàn)象。
ZVR 設(shè)計(jì)的一個(gè)重要性能是含有一個(gè)穿過(guò)轉(zhuǎn)臺(tái)中心的 50 mm 通光孔徑，以支持通過(guò)電纜、線路和其他工具。
ZVR 具有一個(gè)調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開(kāi)關(guān)，使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
ZVR 具有一個(gè)調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開(kāi)關(guān)，使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
Compatible motion controllers for ZVR-PC are:
·XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
·SMC100 Motion Controller: SMC100CC for ?-axis and SMC100PP * for Z-axis.
* Minimum Incremental Motion for Z-axis is 0.25 µm with SMC100PP controller.
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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