壓電·單維掃描運動 Sxxx.X.C

? 標(biāo)準(zhǔn)單軸掃描運動模塊，支持電容閉環(huán)控制

• X 方向運動范圍 100-500 um；

• 外形尺寸，50 mm x 50 mm x 17 mm；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于3 nm (開環(huán)版本可選)；

• 最大負(fù)載 500 g；

• 支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電陶瓷位移臺，X軸掃描，兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電陶瓷位移臺，X軸掃描，兼容無磁高真空——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；

SD —— 高動態(tài)系列；

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應(yīng)用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。