壓電·高速單軸掃描運(yùn)動 – SD15/30.x.C

? 高速掃描運(yùn)動，電容閉環(huán)傳感，超高運(yùn)動分辨率

• X 方向運(yùn)動范圍 15 um, 30 um；

• 外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 0.1 nm；

• 電容位置傳感器；

• 高速運(yùn)動響應(yīng)；

• 支持高真空 (.HV) ，超高真空 (.UHV) 選件升級；

微納壓電掃描臺，高速掃描運(yùn)動，兼容高真空——詳細(xì)參數(shù)：

微納壓電掃描臺，高速掃描運(yùn)動，兼容高真空——尺寸圖：

SD15.x.C

SD30.x.C

多場科技“壓電掃描臺·緊湊型”解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；

SD —— 高動態(tài)系列；

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動、Z軸單維度運(yùn)動、XY軸雙維度運(yùn)動和XYZ軸三維度運(yùn)動等應(yīng)用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。