壓電·單維掃描運動 Sxxx.Z.C

? 緊湊型單軸Z軸方向運動，電容位置閉環(huán)控制

• Z 方向運動范圍 100-300 um；

• 外形尺寸，40 mm x 40 mm x 18 mm；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于1 nm (開環(huán)版本可選)；

• 最大負載 500 g；

• 支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動——詳細參數(shù)：

壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：

S —— 掃描標準系列；

SD —— 高動態(tài)系列；

SH —— 高負載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應(yīng)用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。