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當(dāng)前位置:玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司>>ULVAC愛(ài)發(fā)科>>蝕刻設(shè)備>> NE-5700/NE-7800日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)NE-5700/NE-7800
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間:2024-11-25 14:24:33瀏覽次數(shù):110次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科高密度等離子刻蝕設(shè)備
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
適合量產(chǎn)的NE-5700/NE-7800干法刻蝕設(shè)備是一款可擴(kuò)展的刻蝕設(shè)備,支持從一個(gè)腔室到多個(gè)腔室,強(qiáng)調(diào)性價(jià)比。
除1個(gè)腔體外,還可配備磁場(chǎng)ICP(ISM)、NLD等離子體源、灰化腔體、CCP腔體,兼容多種刻蝕工藝。
配備星形電極和各種溫度控制功能,可實(shí)現(xiàn)過(guò)程的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。
易于維護(hù)的結(jié)構(gòu),停機(jī)時(shí)間最短,全面的備份系統(tǒng),包括再生清潔、零件供應(yīng)、維護(hù)和培訓(xùn)服務(wù)。
半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。
化合物(LED、LD、高頻器件)和功率器件(IGBT 布線加工、SiC 加工)。
用于金屬布線、層間絕緣膜(樹(shù)脂類)、柵電極加工工序。
用于蝕刻鐵電材料和貴金屬。
用于加工磁性材料。
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