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可對(duì)應(yīng)低速高濃度的離子注入設(shè)備SOPHI-30低加速、高濃度對(duì)應(yīng)的離子注入設(shè)備。
高能對(duì)應(yīng)離子注入設(shè)備SOPHI-400可達(dá)2400KeV的高能離子注入設(shè)備。
離子注入機(jī)/法國(guó)IBS由離子源、質(zhì)量分析器、加速器、四級(jí)透鏡、掃描系統(tǒng)和靶室組成,可以根據(jù)實(shí)際需要省去次要部位。離子源是離子注入機(jī)的主要部位,作用是把需要注入的...
中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī),離子注入機(jī)/日本ULVAC非常適合大學(xué)的研發(fā)。
法國(guó)IBS公司(IBS INFORMATION)成立于1987年,一直致力于離子注入領(lǐng)域的研發(fā)、設(shè)計(jì)制造與服務(wù),并不斷升級(jí)和提高在該領(lǐng)域的技術(shù)水平。創(chuàng)始人是來(lái)自...
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