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上海麥科威MKW-200是一個高價值的激光直寫光刻機，面向大學(xué)和研究機構(gòu)尋求擴大他們的能力。它用亞微米像素分辨率的405nm激光在光敏抗蝕劑涂層表面大面積書寫。...
PhysTech在1990年推出了一臺數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時間內(nèi)進行復(fù)雜計算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測量...
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快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。1450度，配置loadlock ，...
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