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真空快速退火爐/德國(guó)UniTemp介紹：

德國(guó)尤尼坦大尺寸快速退火爐(12英寸) 適合光伏樣品VPO-300。

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合大尺寸樣品的熱處理。

真空快速退火爐/德國(guó)UniTemp特點(diǎn)：

快速熱處理、快速熱退火RTP/RTA；

可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；

加熱區(qū)域尺寸：300毫米X300毫米；

廣泛用于太陽(yáng)能電池片快速退火工藝，如156mmX156mm電池片，300mmX300mm電池片等。