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電子束光刻設(shè)備是半導(dǎo)體光掩模生產(chǎn)中利用電子束在光掩模毛坯(以下簡(jiǎn)稱毛坯)上繪制電路圖形的設(shè)備。在存儲(chǔ)器、CPU等LSI的制造中,將分割為數(shù)十層的光掩模作為母板,使用曝光裝置將光掩模上的圖案轉(zhuǎn)印到晶圓上來(lái)制作電路。光掩模的質(zhì)量對(duì)LSI良率影響最大。因此,在光掩模上繪制圖案的電子束光刻設(shè)備可以說(shuō)是LSI制造中最重要的設(shè)備之一。電子束光刻設(shè)備的應(yīng)用電子束光刻設(shè)備用于在制造光掩模以及制造MEMS等納米技術(shù)產(chǎn)品時(shí)在毛坯上繪制電路圖案。在LSI制造過(guò)程中,掩模制造涉及將設(shè)計(jì)過(guò)程中創(chuàng)建的電子文件上的圖案數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)
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步進(jìn)曝光機(jī)是一種用于光刻(半導(dǎo)體和液晶制造工藝)的投射曝光設(shè)備。隨著IC電路圖案的小型化,制作全尺寸光掩模圖案變得困難。這是指在對(duì)大于實(shí)際尺寸的掩模圖案進(jìn)行縮小投影曝光時(shí)進(jìn)行分步重復(fù)曝光的曝光設(shè)備步進(jìn)機(jī)是一種曝光設(shè)備,通過(guò)執(zhí)行步進(jìn)和重復(fù)來(lái)曝光整個(gè)待曝光區(qū)域。步進(jìn)機(jī)的使用步進(jìn)機(jī)用于半導(dǎo)體和液晶的制造,特別是用于光刻過(guò)程中使用掩模的曝光處理。步進(jìn)法包括步進(jìn)重復(fù)法和步進(jìn)重復(fù)法,其中,由于一次可以轉(zhuǎn)移的面積較小,因此在步進(jìn)時(shí)將晶圓順序曝光;以及步進(jìn)重復(fù)法,其中稱為掃描儀的標(biāo)線和存在一種使用步進(jìn)機(jī)進(jìn)行曝光
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半導(dǎo)體清洗設(shè)備是清洗工藝中使用的設(shè)備的總稱,是半導(dǎo)體制造工藝之一。清洗工藝是重要工藝,占整個(gè)半導(dǎo)體制造工藝的30-40%。在高溫處理工序或薄膜形成工序之前,有作為前工序的清洗,除去污垢;在除去氧化物和薄膜的蝕刻工序之后,有作為后工序的清洗,除去抗蝕劑殘?jiān)?。半?dǎo)體清洗設(shè)備大致分為使用化學(xué)品和純水的濕式清洗設(shè)備和不使用化學(xué)品的干式清洗設(shè)備。半導(dǎo)體清洗設(shè)備的應(yīng)用半導(dǎo)體清洗設(shè)備用于半導(dǎo)體制造工廠的各種工藝中。它既用于在硅晶圓上形成半導(dǎo)體器件的預(yù)處理,也用于分離器件并封裝它們以制造最終產(chǎn)品的后處理。特別是
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激光位移計(jì)是一種利用激光測(cè)量物體位置和距離的裝置。激光照射到物體表面,通過(guò)光檢測(cè)并測(cè)量物體的位移。無(wú)需接觸即可進(jìn)行高精度位移測(cè)量。另一個(gè)特點(diǎn)是它可以高速檢測(cè)。激光束照射和光檢測(cè)幾乎同時(shí)發(fā)生,從而可以立即測(cè)量位移。適用于高速運(yùn)動(dòng)和振動(dòng)分析。激光位移計(jì)的應(yīng)用激光位移計(jì)可用于多種應(yīng)用,因?yàn)樗鼈兡軌蜻M(jìn)行非接觸式高精度測(cè)量。1.材料變形與應(yīng)力分析通過(guò)測(cè)量物體受力時(shí)的微小位移和變形,可以評(píng)估材料的彈性和剛性。2.建筑物、機(jī)器等結(jié)構(gòu)的振動(dòng)分析可以測(cè)量物體的振動(dòng)頻率、振動(dòng)模式、共振現(xiàn)象等,評(píng)價(jià)結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和耐久
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開關(guān)變壓器是開關(guān)電源的重要組成部分,開關(guān)電源是電源的支柱。開關(guān)電源內(nèi)部產(chǎn)生偽高頻交流電,并以高頻轉(zhuǎn)換和傳輸電力,從而形成緊湊且高效的電源。通過(guò)優(yōu)化變壓器,可以設(shè)計(jì)出產(chǎn)生更少熱量和噪音的電源。這是開關(guān)電源最重要的組件。開關(guān)變壓器的應(yīng)用顧名思義,開關(guān)變壓器用于開關(guān)電源。由于開關(guān)電源應(yīng)用于所有電氣產(chǎn)品,因此開關(guān)變壓器也應(yīng)用于所有電氣產(chǎn)品。它們被用于從電視和空調(diào)等家用電器,路由器和網(wǎng)關(guān)等通信設(shè)備,復(fù)印機(jī)和計(jì)算機(jī)等信息設(shè)備,以及半導(dǎo)體制造設(shè)備、加工設(shè)備和機(jī)器人等工業(yè)設(shè)備。開關(guān)變壓器原理與其他變壓器一樣,它
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旋轉(zhuǎn)激光器是一種使用激光的整平裝置。名稱因制造商而異,有時(shí)也稱為激光水平儀。找平就是把東西找平,是建筑工地上非常重要的一道工序。如果地板和窗框不水平,建筑物的結(jié)構(gòu)就不干凈。旋轉(zhuǎn)激光器在旋轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)射激光束,并且可以通過(guò)接收器接收來(lái)輕松調(diào)平??稍趹敉獯竺娣e或傾斜區(qū)域使用。旋轉(zhuǎn)激光器的應(yīng)用使用旋轉(zhuǎn)激光器進(jìn)行調(diào)平。首先,安裝旋轉(zhuǎn)激光器,并在大范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)發(fā)射激光。通過(guò)在要檢查水平度的位置安裝接收器并接收激光束,可以輕松完成調(diào)平。使用旋轉(zhuǎn)激光器可以讓一個(gè)人同時(shí)工作和測(cè)量多個(gè)位置。確認(rèn)水平度后,即可檢查混
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HID泛光燈是高亮度放電泛光燈的總稱,區(qū)別于采用LED作為光源的照明。HID泛光燈使用多種類型的光源,包括汞、金屬鹵化物和鹵素。HID是高強(qiáng)度放電的縮寫。另一方面,泛光燈是一種利用反射鏡或透鏡向特定方向發(fā)出強(qiáng)光的照明裝置。每種光源都有不同的特性,例如壽命和功耗,因此選擇適合您的預(yù)期用途的光源非常重要。HID泛光燈的應(yīng)用泛光燈的特點(diǎn)是發(fā)光強(qiáng)度大、亮度高。由于可以自由確定光的發(fā)射方向,因此它用于需要將照射位置調(diào)整到任意位置的地方,而不是用于照射位置固定的地方,例如路燈。但根據(jù)使用目的,HID泛光燈會(huì)
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高側(cè)驅(qū)動(dòng)器是電子電路中使用的電路結(jié)構(gòu),是驅(qū)動(dòng)電源與負(fù)載之間的開關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)器。被驅(qū)動(dòng)的開關(guān)元件稱為高側(cè)開關(guān),控制高側(cè)開關(guān)來(lái)接通/斷開電源以及向負(fù)載提供或斷開電流。另一方面,驅(qū)動(dòng)負(fù)載和接地之間的開關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)器稱為低側(cè)驅(qū)動(dòng)器。為了將電流傳遞到各種負(fù)載,高側(cè)驅(qū)動(dòng)器和低側(cè)驅(qū)動(dòng)器各自具有各自的電路特性。高邊驅(qū)動(dòng)器的使用高側(cè)驅(qū)動(dòng)器廣泛應(yīng)用于電子電路中。通常用于逆變器、電源開/關(guān)電路、LED驅(qū)動(dòng)器以及電機(jī)和螺線管等感性負(fù)載驅(qū)動(dòng)器。高側(cè)驅(qū)動(dòng)器通常用于向負(fù)載流過(guò)大電流,因此在設(shè)計(jì)時(shí)需要考慮浪涌電流對(duì)策和反向電流