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超連續(xù)譜光源(SC光源)又稱超連續(xù)譜激光器,是發(fā)射特殊激光的光源。激光是指具有相同相位的光,即相干光。普通激光器發(fā)射單一波長(zhǎng)的光,但SC光源是多波長(zhǎng)激光光源,可在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)同時(shí)發(fā)射多束相位對(duì)齊的光。據(jù)說,當(dāng)不同波長(zhǎng)的光重疊時(shí),光會(huì)變成白色。SC光源發(fā)出的激光是相干光,由于包含各種波長(zhǎng)的光,因此被稱為白激光。SC光源通過將極短的納秒或皮秒周期的強(qiáng)大脈沖激光穿過光纖電纜來(lái)產(chǎn)生這種光。超連續(xù)譜光源的應(yīng)用SC光源發(fā)出較寬波長(zhǎng)范圍的相位對(duì)準(zhǔn)光,因此被用于光學(xué)相干斷層掃描(OCT)、共焦顯微鏡、熒光成
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ALD(沉積)設(shè)備是利用原子層沉積形成納米級(jí)薄膜的設(shè)備。由于薄膜是按原子逐層形成的,因此具有精確的膜厚可控性和精確的階梯涂布性能。但缺點(diǎn)是成膜速度慢。ALD成膜中使用了許多有機(jī)金屬材料,但其中許多材料對(duì)人體有負(fù)面影響,并且高度易燃。處理需要專業(yè)知識(shí)和極其小心。ALD設(shè)備的應(yīng)用ALD設(shè)備常用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝、FPD生產(chǎn)工藝等。近年來(lái),這項(xiàng)技術(shù)已成為DRAM生產(chǎn)中的一部分。以下是使用ALD裝置形成的薄膜的例子。1.柵極氧化膜形成FET等晶體管時(shí)必需的具有高介電常數(shù)的薄膜。主要采用Al2O3、ZrO2
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電子束光刻設(shè)備是半導(dǎo)體光掩模生產(chǎn)中利用電子束在光掩模毛坯(以下簡(jiǎn)稱毛坯)上繪制電路圖形的設(shè)備。在存儲(chǔ)器、CPU等LSI的制造中,將分割為數(shù)十層的光掩模作為母板,使用曝光裝置將光掩模上的圖案轉(zhuǎn)印到晶圓上來(lái)制作電路。光掩模的質(zhì)量對(duì)LSI良率影響最大。因此,在光掩模上繪制圖案的電子束光刻設(shè)備可以說是LSI制造中最重要的設(shè)備之一。電子束光刻設(shè)備的應(yīng)用電子束光刻設(shè)備用于在制造光掩模以及制造MEMS等納米技術(shù)產(chǎn)品時(shí)在毛坯上繪制電路圖案。在LSI制造過程中,掩模制造涉及將設(shè)計(jì)過程中創(chuàng)建的電子文件上的圖案數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)
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步進(jìn)曝光機(jī)是一種用于光刻(半導(dǎo)體和液晶制造工藝)的投射曝光設(shè)備。隨著IC電路圖案的小型化,制作全尺寸光掩模圖案變得困難。這是指在對(duì)大于實(shí)際尺寸的掩模圖案進(jìn)行縮小投影曝光時(shí)進(jìn)行分步重復(fù)曝光的曝光設(shè)備步進(jìn)機(jī)是一種曝光設(shè)備,通過執(zhí)行步進(jìn)和重復(fù)來(lái)曝光整個(gè)待曝光區(qū)域。步進(jìn)機(jī)的使用步進(jìn)機(jī)用于半導(dǎo)體和液晶的制造,特別是用于光刻過程中使用掩模的曝光處理。步進(jìn)法包括步進(jìn)重復(fù)法和步進(jìn)重復(fù)法,其中,由于一次可以轉(zhuǎn)移的面積較小,因此在步進(jìn)時(shí)將晶圓順序曝光;以及步進(jìn)重復(fù)法,其中稱為掃描儀的標(biāo)線和存在一種使用步進(jìn)機(jī)進(jìn)行曝光
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半導(dǎo)體清洗設(shè)備是清洗工藝中使用的設(shè)備的總稱,是半導(dǎo)體制造工藝之一。清洗工藝是重要工藝,占整個(gè)半導(dǎo)體制造工藝的30-40%。在高溫處理工序或薄膜形成工序之前,有作為前工序的清洗,除去污垢;在除去氧化物和薄膜的蝕刻工序之后,有作為后工序的清洗,除去抗蝕劑殘?jiān)?。半?dǎo)體清洗設(shè)備大致分為使用化學(xué)品和純水的濕式清洗設(shè)備和不使用化學(xué)品的干式清洗設(shè)備。半導(dǎo)體清洗設(shè)備的應(yīng)用半導(dǎo)體清洗設(shè)備用于半導(dǎo)體制造工廠的各種工藝中。它既用于在硅晶圓上形成半導(dǎo)體器件的預(yù)處理,也用于分離器件并封裝它們以制造最終產(chǎn)品的后處理。特別是
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激光位移計(jì)是一種利用激光測(cè)量物體位置和距離的裝置。激光照射到物體表面,通過光檢測(cè)并測(cè)量物體的位移。無(wú)需接觸即可進(jìn)行高精度位移測(cè)量。另一個(gè)特點(diǎn)是它可以高速檢測(cè)。激光束照射和光檢測(cè)幾乎同時(shí)發(fā)生,從而可以立即測(cè)量位移。適用于高速運(yùn)動(dòng)和振動(dòng)分析。激光位移計(jì)的應(yīng)用激光位移計(jì)可用于多種應(yīng)用,因?yàn)樗鼈兡軌蜻M(jìn)行非接觸式高精度測(cè)量。1.材料變形與應(yīng)力分析通過測(cè)量物體受力時(shí)的微小位移和變形,可以評(píng)估材料的彈性和剛性。2.建筑物、機(jī)器等結(jié)構(gòu)的振動(dòng)分析可以測(cè)量物體的振動(dòng)頻率、振動(dòng)模式、共振現(xiàn)象等,評(píng)價(jià)結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和耐久
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開關(guān)變壓器是開關(guān)電源的重要組成部分,開關(guān)電源是電源的支柱。開關(guān)電源內(nèi)部產(chǎn)生偽高頻交流電,并以高頻轉(zhuǎn)換和傳輸電力,從而形成緊湊且高效的電源。通過優(yōu)化變壓器,可以設(shè)計(jì)出產(chǎn)生更少熱量和噪音的電源。這是開關(guān)電源最重要的組件。開關(guān)變壓器的應(yīng)用顧名思義,開關(guān)變壓器用于開關(guān)電源。由于開關(guān)電源應(yīng)用于所有電氣產(chǎn)品,因此開關(guān)變壓器也應(yīng)用于所有電氣產(chǎn)品。它們被用于從電視和空調(diào)等家用電器,路由器和網(wǎng)關(guān)等通信設(shè)備,復(fù)印機(jī)和計(jì)算機(jī)等信息設(shè)備,以及半導(dǎo)體制造設(shè)備、加工設(shè)備和機(jī)器人等工業(yè)設(shè)備。開關(guān)變壓器原理與其他變壓器一樣,它
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旋轉(zhuǎn)激光器是一種使用激光的整平裝置。名稱因制造商而異,有時(shí)也稱為激光水平儀。找平就是把東西找平,是建筑工地上非常重要的一道工序。如果地板和窗框不水平,建筑物的結(jié)構(gòu)就不干凈。旋轉(zhuǎn)激光器在旋轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)射激光束,并且可以通過接收器接收來(lái)輕松調(diào)平。可在戶外大面積或傾斜區(qū)域使用。旋轉(zhuǎn)激光器的應(yīng)用使用旋轉(zhuǎn)激光器進(jìn)行調(diào)平。首先,安裝旋轉(zhuǎn)激光器,并在大范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)發(fā)射激光。通過在要檢查水平度的位置安裝接收器并接收激光束,可以輕松完成調(diào)平。使用旋轉(zhuǎn)激光器可以讓一個(gè)人同時(shí)工作和測(cè)量多個(gè)位置。確認(rèn)水平度后,即可檢查混