質(zhì)量流量控制器 神崎現(xiàn)貨供應(yīng) OHKURA大倉 返回列表頁

質(zhì)量流量控制器 神崎現(xiàn)貨供應(yīng) OHKURA大倉 

質(zhì)量流量控制器 神崎現(xiàn)貨供應(yīng) OHKURA大倉 

一、流量與精度參數(shù)

1. 量程范圍

• 標(biāo)準(zhǔn)量程：覆蓋 15 個(gè)流量段，從最小 5 SCCM（毫升 / 分鐘） 到最大 20 SLM（升 / 分鐘），可滿足從實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的多樣化需求。

• 擴(kuò)展量程：部分型號(hào)（如 MF1171B）支持更高流量范圍（如 0-50 SLM），需定制配置。

2. 測(cè)量精度

• 基本精度：±2% FS（滿量程），適用于常規(guī)工業(yè)環(huán)境。

• 高精度型號(hào)：MF1151B 等特定型號(hào)可達(dá) ±1.5% FS，線性度 ±0.7% FS，適用于半導(dǎo)體制造等高要求場(chǎng)景。

• 重復(fù)性：±0.2% FS，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量。

3. 響應(yīng)特性

• 階躍響應(yīng)：95% 信號(hào)變化在 3 秒內(nèi) 完成，滿足實(shí)時(shí)控制需求。

• 刷新率：1 次 / 秒（默認(rèn)），可通過軟件調(diào)整至更高頻率。

二、電氣與通信參數(shù)

1. 供電要求

• 電源輸入：12-24V DC（典型值 24V），功耗≤3VA。

• 紋波抑制：≥60dB（50/60Hz），抗電源干擾能力強(qiáng)。

2. 輸出信號(hào)

• 模擬輸出：4-20mA（兩線制）或 0-5V DC（三線制），負(fù)載電阻≤600Ω（24V DC 時(shí)）。

• 數(shù)字通信：RS-232C（標(biāo)準(zhǔn)）或 RS-485（可選），支持 MODBUS RTU 協(xié)議（需在型號(hào)后綴注明，如 MF1111B-M）。

• 報(bào)警輸出：可選繼電器觸點(diǎn)（1A/250V AC），用于高低流量報(bào)警。

三、機(jī)械與環(huán)境參數(shù)

1. 材質(zhì)與結(jié)構(gòu)

• 主體材料：SUS316 不銹鋼，氣體接觸部分可選氟橡膠或氟樹脂涂層，耐腐蝕性強(qiáng)。

• 連接方式：1/4 英寸 Swagelok 卡套接頭（標(biāo)準(zhǔn)），可定制 VCR 接頭（適用于超高純度氣體）。

• 外形尺寸：144×144×150mm（面板嵌入式），重量約 1.8kg。

2. 環(huán)境適應(yīng)性

• 最大工作壓力：1.0MPa（10bar），耐壓 1.5MPa。

• 壓力損失：≤5kPa（標(biāo)準(zhǔn)流量下），降低系統(tǒng)能耗。

• 工作溫度：5-45℃（與氣體溫度一致），環(huán)境溫度 0-50℃。

• 存儲(chǔ)溫度：-20-70℃，支持寬溫環(huán)境存儲(chǔ)。

• 溫度范圍：

• 濕度范圍：20-80% RH（無冷凝），適合高濕環(huán)境。

• 防護(hù)等級(jí)：IP65（防塵、防噴水），符合 IEC 529 標(biāo)準(zhǔn)，可戶外安裝。

• 壓力參數(shù)：