現貨庫存 質量流量控制器 日本OHKURA大倉 返回列表頁

現貨庫存 質量流量控制器  日本OHKURA大倉

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一、流量與精度參數

1. 量程范圍

• 標準量程：覆蓋 15 個流量段，從最小 5 SCCM（毫升 / 分鐘） 到最大 400 SLM（升 / 分鐘），可滿足從實驗室到工業(yè)現場的多樣化需求。

• 擴展量程：部分定制型號（如 MF5171B）支持更高流量范圍（如 0-500 SLM），需在選型時注明。

2. 測量精度

• 基本精度：±2% FS（滿量程），適用于常規(guī)工業(yè)環(huán)境。

• 高精度型號：MF5151B 等特定型號可達 ±1.5% FS，線性度 ±0.7% FS，適用于半導體制造等高要求場景。

• 重復性：±0.2% FS，確保長期穩(wěn)定測量。

3. 響應特性

• 階躍響應：95% 信號變化在 1 秒內 完成，顯著優(yōu)于 MF1100B 系列的 3 秒響應，滿足實時控制需求。

• 刷新率：1 次 / 秒（默認），可通過軟件調整至更高頻率。

二、電氣與通信參數

1. 供電要求

• 電源輸入：12-24V DC（典型值 24V），功耗≤3VA，紋波抑制≥60dB（50/60Hz），抗電源干擾能力強。

2. 輸出信號

• 模擬輸出：4-20mA（兩線制）或 0-5V DC（三線制），負載電阻≤600Ω（24V DC 時）。

• 數字通信：RS-232C（標準）或 RS-485（可選），支持 MODBUS RTU 協議（需在型號后綴注明，如 MF5111B-M）。

• 報警輸出：可選繼電器觸點（1A/250V AC），用于高低流量報警，響應時間≤50ms。

三、機械與環(huán)境參數

1. 材質與結構

• 主體材料：SUS316 不銹鋼，氣體接觸部分可選氟橡膠或氟樹脂涂層，耐腐蝕性強，適用于強酸強堿等惡劣環(huán)境。

• 連接方式：1/4 英寸 Swagelok 卡套接頭（標準），可定制 VCR 接頭（適用于超高純度氣體，泄漏率≤1×10-10 Pa?m3/s）。

• 外形尺寸：144×144×150mm（面板嵌入式），重量約 1.8kg，緊湊設計便于安裝。

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NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

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