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固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)是人們每時每刻所感知的三種物質(zhì)狀態(tài)，這三種狀態(tài)的物質(zhì)是由原子和分子構(gòu)成。通過輸入能量(如熱量)，可實(shí)現(xiàn)物質(zhì)從一種狀態(tài)轉(zhuǎn)化為另一種狀態(tài)。當(dāng)氣態(tài)物質(zhì)被進(jìn)一步加熱到更高的溫度時，或是氣體在受到高能量的照射后，氣體物質(zhì)就轉(zhuǎn)化為第四態(tài)，即等離子體態(tài)。在這種狀態(tài)下，部分氣體原子已解離成電子和離子，也有一些在吸收能量后變成具有化學(xué)活性的亞穩(wěn)態(tài)原子。在這種狀態(tài)中，不但包含有一定能量的中性原子和分子，而且還有相當(dāng)量的帶電粒子、一定量的帶有化學(xué)活性的亞穩(wěn)態(tài)原子和分子。電離出的自由電子總的負(fù)電量與正離子總的正電量相等，這種高度電離的、宏觀上呈中性的氣體叫等離子體。
等離子清洗機(jī)原理是兩個電極之間形成高頻交變電場，用真空泵在裝置的密閉容器中實(shí)現(xiàn)一定的真空度隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動距離也越來越長，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體。在真空和瞬時高溫狀態(tài)下，活性等離子對孔壁內(nèi)鉆污、殘膠及油污等污染物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，污染物部分蒸發(fā)或在高能量離子的沖擊下被擊碎，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過抽真空排出，從而達(dá)到清洗目的。
等離子清洗機(jī)在材料學(xué)，光學(xué)，電子學(xué)，醫(yī)藥學(xué)，環(huán)境學(xué)、生物學(xué)等科研領(lǐng)域得了廣泛的應(yīng)用，主要用于材料表面清洗、活化、沉積、去膠、刻蝕、接枝聚合、疏水、親水、金屬還原、去除有機(jī)物、鍍膜前處理、器械消毒等。
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