手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
1. 基片清洗設(shè)備：
① 前期簡單清洗：VGT-1620QTD超聲波清洗機（用于去除基片表面污漬 ）
|
|
|
| VGT-1620QTD超聲波清洗機 | VGT-1620TD超聲波清洗機 |
② 深層清洗：
PCE-6等離子清洗機（達分子級的深層清洗，用于改善基片表面的親水性和濕潤性）、PCE-6V小型等離子清洗機（不僅可用于基片表面性質(zhì)的改善還可通氧氣進行光刻膠清洗）、紫外線臭氧清洗：不需要任何溶劑的干式清洗技術(shù)，對基片沒有損傷（該法不適用于高分子基片）
|
|
|
|
| PCE-6等離子清洗機 | PCE-6V等離子清洗機 | PCE-22-LD紫外線臭氧清洗機 |
2. 基片清洗效果檢測：
DSA-X光學(xué)接觸角測量儀、DSA-X Roll 全自動整體傾斜接觸角分析儀（通過對清洗前后基片表面對同一種液體的接觸角的數(shù)值的檢測，來判斷清洗效果是否達到要求）
|
|
|
| DSA-X光學(xué)接觸角測量儀 | DSA-X Roll 全自動整體傾斜接觸角分析儀 |
3. 涂膜：VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機（適用于4英寸及以下的晶圓表面的涂膜）、VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機（適用于6英寸及以下的晶圓表面的涂膜）
|
|
|
| VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機 | VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機 |
4. 膠體薄膜固化：烤膠機：HT-150型精密烤膠機、VTC-100PA-Ⅰ或VTC-100PA-Ⅱ上蓋加熱型真空旋轉(zhuǎn)涂膜機，無需移動樣片直接進行烤膠。VTC-100PA-UV紫外加熱型旋轉(zhuǎn)涂膜機用于光敏型膠體薄膜的固化。
|
|
|
|
| HT-150型精密烤膠機 | VTC-100PA-Ⅱ上蓋加熱型 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機 | VTC-100PA-UV紫外加熱型旋轉(zhuǎn)涂膜機 |
5. 薄膜厚度測定：SE-VE光普橢偏儀 膜厚測量范圍：0.5nm-20μmSR-C 反射膜厚儀 膜厚測量范圍：100nm-40μm
|
|
|
| SR-C 反射膜厚儀 | SE-VE光普橢偏儀 |
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心