使用高低溫真空探針臺(tái)的實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟
高低溫真空探針臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體材料光電檢測(cè),功率器件測(cè)試,MEMS測(cè)試,PCB測(cè)試,液晶面板測(cè)試,測(cè)量表面電阻率測(cè)試,精密儀器生產(chǎn)檢測(cè),航空航天實(shí)驗(yàn)室。
高低溫真空探針臺(tái)又稱(chēng)探針測(cè)試臺(tái),主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析,抽查測(cè)試等用途。
探針臺(tái)結(jié)構(gòu)小巧,功能實(shí)用,成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái),在滿(mǎn)足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺(tái)系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,隔振平臺(tái)探針座,四維調(diào)整載片臺(tái)(Chuck),真空吸附系統(tǒng);譜量光電可以根據(jù)客戶(hù)應(yīng)用搭建探針臺(tái),以達(dá)到更好得使用效果和性?xún)r(jià)比。
實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟:
光學(xué)隔振平臺(tái)(臺(tái)面>600mm*600mm),一臺(tái)計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB3.0接口)吉時(shí)利2400數(shù)字源表(含軟件)等測(cè)試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表,探針接被測(cè)物體,通過(guò)顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測(cè)物表面,待連接導(dǎo)通后打開(kāi)源表軟件,選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線(xiàn)。
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