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怎樣選擇合適的探針臺(tái)

來(lái)源:北京錦正茂科技有限公司   2024年10月14日 10:03  

隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,越來(lái)越多的精密細(xì)小器件逐步開(kāi)放和增長(zhǎng),作為對(duì)細(xì)小器件檢測(cè)的bi備儀器—探針臺(tái)也顯得越來(lái)越重要。探針臺(tái)可以將待測(cè)器件進(jìn)行放大幾十到上千倍,可將微觀層面的東西搬到宏觀上來(lái)進(jìn)行研究,連接測(cè)試儀器儀表進(jìn)行測(cè)量。那么如何選擇一款適合的探針臺(tái)顯得尤為重要。

第一,我們需要選擇合適尺寸的樣品座,會(huì)有2英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸之分,如果我們測(cè)試的樣品是大的晶圓或器件,我們還需要注意的是,探針是否能滿(mǎn)足扎到樣品的任意位置。

第二,我們選用探針臂的數(shù)量和類(lèi)型,可以最多同時(shí)搭載6個(gè)探針臂,探針臂的類(lèi)型有直流臂、射頻臂和微波臂,會(huì)配備相應(yīng)的探針。

第三,因?yàn)椴煌臏y(cè)試,我們需要對(duì)應(yīng)的測(cè)試環(huán)境,我們可以選擇是否帶有磁場(chǎng),磁場(chǎng)是固定的還是變磁場(chǎng),對(duì)應(yīng)的就要配備永磁鐵和電磁鐵。

第四,我們的測(cè)試是否有溫度需要,我們需求的溫度范圍是多少,有室溫、4K-室溫階段(真空下)、有液氮溫度-800K(真空下),對(duì)應(yīng)的是室溫手動(dòng)探針臺(tái)、4K閉循環(huán)探針臺(tái)、液氮高低溫真空探針臺(tái)。

第五,我們需要明白自己的測(cè)試樣品是多大的電極點(diǎn)或者Pad點(diǎn),需要選擇一款適合自己顯微鏡系統(tǒng),有最小識(shí)別3μm、1μm、0.1μm之分,因?yàn)殡S著顯微鏡的放大倍數(shù)的增大,相應(yīng)的顯微鏡的工作距離會(huì)縮短(物鏡到樣品表面的距離),我們要考慮關(guān)于工作距離的要求,同時(shí)一般建議我們探針直徑最好是不大于Pad點(diǎn)的四分之一,利于扎針和測(cè)試。

第六,如果我們探針臺(tái)的放置位置有空間尺寸的限制,我們需要考慮整體探針臺(tái)的大小尺寸。

總體來(lái)說(shuō),如何購(gòu)買(mǎi)一臺(tái)適合自己的探針臺(tái),我們需要考慮多方面的內(nèi)容。可以根據(jù)每家探針臺(tái)廠家的參數(shù)及價(jià)格進(jìn)行對(duì)比,最終可以買(mǎi)到一臺(tái)適合自己需求的設(shè)備。

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