資料簡介
善準等離子刻蝕機VP-RS8采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置技術(shù),真空腔體不銹鋼材質(zhì),功率500W,頻率13.56MHz,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運行3分鐘,腔體溫度不高于45℃,不損傷樣品,適用于硅片刻蝕、晶圓去膠、金屬刻蝕、芯片去膠、半導體刻蝕、硅材料刻蝕、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA等離子體干法刻蝕處理。
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