半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。我們現(xiàn)代生活中的電子產(chǎn)品使用的集成電路,就是由半導(dǎo)體材料經(jīng)過幾百次的工序,制作成芯片后,封裝而成。常見的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等,其中硅是各種半導(dǎo)體材料中應(yīng)用較廣泛的。
從晶圓到芯片,是一個(gè)很復(fù)雜的過程,主要包括以下步驟:單晶生長、晶棒切割、表面研磨清洗、電路設(shè)計(jì)及掩膜制作、氧化、光刻膠涂覆、曝光、蝕刻、氣體離子注入、化學(xué)氣相沉積、金屬化、檢測切分、芯片封裝等。這些工序會(huì)使用到多種材料、化學(xué)試劑、氣體,這些物質(zhì)的純度和組分含量都有嚴(yán)格的要求,需要嚴(yán)格的檢測保證產(chǎn)品的性能。
封裝是集成電路生產(chǎn)的最后一步,把硅片上的電路管腳,用導(dǎo)線接引到外部接頭處,以便與其它器件連接,也需要進(jìn)行充分的測試。電子產(chǎn)品中還大量使用其他材料,包括LCD,OLED,光學(xué)薄膜、電路板等,都需要對其進(jìn)行嚴(yán)格的檢測。此外,太陽能電池也用到半導(dǎo)體材料,其光學(xué)性能直接影響光電轉(zhuǎn)化效率,同樣需要進(jìn)行研究和檢測。
PerkinElmer公司在近80年的研發(fā)生產(chǎn)過程中,創(chuàng)新和開發(fā)了大量科學(xué)儀器,有著完善的分析儀器產(chǎn)品線。全套的無機(jī)光譜、無機(jī)質(zhì)譜、色譜、有機(jī)質(zhì)譜、分子光譜、熱分析等產(chǎn)品,均在半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)揮了重要的檢測和研發(fā)作用。
本文集匯總了珀金埃爾默公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域,以及周邊材料檢測的應(yīng)用案例。涉及到的分析內(nèi)容具包括無機(jī)元素分析、光學(xué)分析、熱分析和有機(jī)物分析。具體的項(xiàng)目包括:
· 無機(jī)元素分析:晶圓、化學(xué)試劑、拋光材料、光刻膠、電子特氣、靶材。
· 光學(xué)分析:薄膜、光伏電池、IR孔、面板。
· 熱分析:封裝材料、PC板、焊料。
· 有機(jī)物分析:試劑、AMC、VOC。