魯汶儀器致力于為集成電路制造產(chǎn)業(yè)提供先進(jìn)的裝備和工藝解決方案。針對(duì)邏輯、存儲(chǔ)、功率器件、光學(xué)、微顯示等領(lǐng)域的關(guān)鍵工藝道次，魯汶儀器研發(fā)了業(yè)界的離子束塑形設(shè)備(IBS)、離子束沉積設(shè)備(IBD)等，為客戶推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新、提升產(chǎn)能、優(yōu)化工藝提供穩(wěn)定可靠的設(shè)備與完善的技術(shù)支持。 魯汶儀器也提供電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備(ICP)、薄膜沉積設(shè)備(CVD)，以及氣相分解金屬沾污收集設(shè)備(VPD)等晶圓工藝制造設(shè)備與檢測(cè)設(shè)備。