RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特) NRE-4000是一款獨立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持zui大到12”的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計，并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10^-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。

該系統(tǒng)是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運行系統(tǒng)?；谌詣拥目刂?，該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。

產(chǎn)品特點：

• 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體
• 不銹鋼立柜
• 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬
• 典型的硅刻蝕速率，400 ?/min
• 高達12”的陽極氧化鋁RF樣品臺
• 水冷及加熱的RF樣品臺
• 大的自偏壓
• 淋浴頭氣流分布
• 極限真空5x10-7Torr，20分鐘內(nèi)可以達到10-6Torr級別
• 渦輪分子泵
• NRE-3000zui多支持4個MFC，NRE-4000zui多支持8個MFC
• 無繞曲氣體管路
• 自動下游壓力控制
• 雙刻蝕能力：RIE以及PE刻蝕(可選)
• 終點監(jiān)測
• 氣動升降頂蓋
• 手動或自動上下載片
• 預(yù)真空鎖
• 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
• 菜單驅(qū)動，4級密碼訪問保護
• *的安全聯(lián)鎖
• 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺，用于深硅刻蝕

產(chǎn)品型號：

• NRE-4000：基于PC計算機全自動控制的獨立式系統(tǒng)，占地面積26“D x 44”W
• NRE-3500：基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統(tǒng)，占地面積26“D x 26”W
• NRE-3000：基于PC計算機全自動控制的臺式系統(tǒng)，占地面積26“D x 26”W
• NRP-4000：RIE/PECVD雙系統(tǒng)
• NDR-4000：深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)