化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>去膠機(jī)>NPC-3000 Plasma Ashing/等離子清洗去膠機(jī)
NPC-3000 Plasma Ashing/等離子清洗去膠機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) NPC-3000
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/5/10 9:27:02
- 訪問(wèn)次數(shù) 391
產(chǎn)品標(biāo)簽
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PECVD，PA-MOCVD，蒸發(fā)系統(tǒng)，離子束，ALD，等離子源，濺射，刻蝕，熱真空，兆聲清洗機(jī)，雙系統(tǒng)
等離子清洗及去膠系統(tǒng)
NANO-MASTER(那諾-馬斯特)等離子灰化和清洗系統(tǒng)是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用來(lái)滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說(shuō)可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 臺(tái)式或獨(dú)立系統(tǒng)
- 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
- 兼容100級(jí)超凈間使用
- 淋浴頭、ICP或微波等離子源
- 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
- RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺(tái)
- 全自動(dòng)或手動(dòng)RF調(diào)諧
- zui多可支持4個(gè)MFC帶電拋光的氣體管路
- PC計(jì)算機(jī)控制的氣動(dòng)閥
- 帶密碼保護(hù)的多級(jí)訪問(wèn)控制
- 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
- 機(jī)械泵的壓力可達(dá)到10mTorr
- 250 l/s的渦輪分子泵
- 極限真空為5x10-7Torr
- 完整的安全聯(lián)鎖
產(chǎn)品應(yīng)用：
- 有機(jī)物以及無(wú)機(jī)物的殘留物去除
- 光刻膠剝離或灰化
- 去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用
- 清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅線框架
- 提高黏附性，消除鍵合問(wèn)題
- 塑料的表面改型：O2處理以改進(jìn)涂覆性能
- 產(chǎn)生親水或疏水表面
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