官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>物理氣相沉積設(shè)備> 超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

分享
舉報 評價

超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/12/10 8:07:42
  • 訪問次數(shù) 2621
產(chǎn)品標(biāo)簽

沉積系統(tǒng)

聯(lián)系方式:張垚查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應(yīng),72小時內(nèi)趕到現(xiàn)場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù)!
      因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)

超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

該系統(tǒng)由全球?qū)I(yè)的沉積設(shè)備商制造,配置多種沉積方式(預(yù)留各種功能接口),高度靈活,非常適合多種沉積模式的科研.

目前該系統(tǒng)的超高真空條件沉積模式(僅用機(jī)械泵+分子泵,極限真空可達(dá)5X10E-10Torr)。多種組合沉積模式,同一腔體實現(xiàn)多種功能沉積方式,沉積源模式有:
磁控濺射源
電子束蒸發(fā)源
熱蒸發(fā)源


超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

該系統(tǒng)高度靈活,軟件操作方便,專業(yè)為研究機(jī)構(gòu)沉積超純度薄膜,是真正的超高真空沉積系統(tǒng)。
超高真空多腔室物理氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
極限真空:<5x 10E-10 torr(經(jīng)過24小時烘烤冷卻后);
鍍膜均勻度:<3%
樣品傳送: 便捷安放上置襯底
機(jī)柜: 占用空間小結(jié)構(gòu);
樣品臺工作: 旋轉(zhuǎn), 加熱, 加載偏壓;
樣品操作: 預(yù)抽真空室;
樣品尺寸: 1”、 2”、 3”、 4” 、8”、12”等;
膜厚監(jiān)控: 石英晶體微天平, 橢偏儀;
烘烤: 內(nèi)置加熱或外置保溫加熱;
簡單方便 的全自動軟件操作:全自動抽取真空并且程序自動運行。




化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能