化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>原子層沉積設(shè)備>E200S Plus Exploiter系列原子層沉積設(shè)備
E200S Plus Exploiter系列原子層沉積設(shè)備
- 公司名稱 深圳市原速科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) E200S Plus
- 產(chǎn)地 深圳市寶安區(qū)新安街道1號(hào)樓511-513
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/8/22 9:29:23
- 訪問(wèn)次數(shù) 796
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-100萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子 |
1、Exploiter-E200S Plus產(chǎn)品特色
（1）傳輸管路的優(yōu)化設(shè)計(jì)，有效地避免管路堵塞及交叉污染問(wèn)題
（2）工業(yè)化級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)集成：PLC+工控機(jī)+觸摸屏
（3）軟件操作界面友好，可真正實(shí)現(xiàn)“一鍵沉積”
（4）完善全面的安全互鎖方案
（5）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)鍍膜工藝
2、Exploiter-E200S Plus可制備的材料種類
（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等
（2）金屬材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等
（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等
（4）納米層壓材料：(Al2O3/ZrO2)n等
3、Exploiter-E200S Plus技術(shù)指標(biāo)
（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能機(jī)械泵（可定制其它款型）
（2）樣品腔室：φ200mm（可定制其它款型）
（3）前驅(qū)體源：6路
（4）氧化/還原反應(yīng)物：3路
（5）沉積溫度：室溫-500℃（可定制其他溫度）
（6）前驅(qū)體管道溫度：室溫-120℃（可定制其他溫度）
（7）源瓶加熱溫度：室溫-120℃（可定制其他溫度）
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