E200P Plus Exploiter系列原子層沉積設備

1、Exploiter-E200P Plus產(chǎn)品特色

（1）傳輸管路的優(yōu)化設計，有效地避免管路堵塞及交叉污染問題

（2）工業(yè)化級別標準集成：PLC+工控機+觸摸屏

（3）軟件操作界面友好，可真正實現(xiàn)“一鍵沉積”

（4）完善全面的安全互鎖方案

（5）實時監(jiān)測鍍膜工藝

2、Exploiter-E200P Plus可制備的材料種類

（1）氧化物：Al₂O₃、TiO₂、SiO₂、HfO₂、Ta₂O₅、ZrO₂、ZnO、SnO₂、La₂O₃、Lu₂O₃等

（2）金屬材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等

（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO₃、MnN、WN等

（4）納米層壓材料：(Al₂O₃/ZrO₂)_n等

3、Exploiter-E200P Plus技術指標

（1）本底真空：＜5.0×10^-3torr，高性能機械泵（可定制其它款型）

（2）樣品腔室：φ200mm+粉末顆粒包裹腔（可定制其它款型）

（3）前驅體源：6路

（4）氧化/還原反應物：3路

（5）沉積溫度：室溫-500℃（可定制其他溫度）

（6）前驅體管道溫度：室溫-120℃（可定制其他溫度）

（7）源瓶加熱溫度：室溫-120℃（可定制其他溫度）