精密氣浮直線臺，精密氣浮轉(zhuǎn)臺，多軸精密氣浮臺，精密直驅(qū)直線臺，多軸精密直驅(qū)直線臺，精密垂直升降臺，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,印刷包裝,冶金,航天 |
王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
超精度設(shè)計
雙軸超精密氣浮運動臺QFHDS結(jié)構(gòu)采用*的碳化硅陶瓷設(shè)計，比鋁合金氣浮導(dǎo)軌性能約高5倍，熱膨脹系數(shù)約低5倍。用此材料及結(jié)構(gòu)提升了動態(tài)跟蹤誤差，高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，速度達(dá)到1m/s,加速度可達(dá)4g.利用多年的氣浮軸承制造經(jīng)驗，開發(fā)一種新的氣浮軸承補償方法，提高了剛性和負(fù)載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)快速運動和非?？斓奈恢谜?。
雙軸超精密氣浮運動臺根據(jù)應(yīng)用，QFHDS可用于主動或被動隔振系統(tǒng)，可安裝旋轉(zhuǎn)臺，傾角臺或晶圓裝卸用的夾具等，整套設(shè)備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動被動隔振臺等。
我們精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質(zhì)量的電纜，以確保*操作，減少停機時間。同時使設(shè)備外觀更整潔，創(chuàng)造良好的作業(yè)環(huán)境。
非接觸式直驅(qū)設(shè)計
QFHDS的核心是運用了*的直線電機，采用了無鐵芯設(shè)計，實現(xiàn)了超平穩(wěn)的運動。步進軸和掃描軸使用多個電機驅(qū)動，安裝位置接近于負(fù)載水平面，以提高直線度、平面度和傾角誤差等，同時電機是隔熱的，對于高占空比應(yīng)用，電機可選水冷或氣冷，盡量避免因電機發(fā)熱引起的誤差。
規(guī)格指標(biāo)
型號 | 單位 | QFHDS-300-300-50 | QFHDS -400-400-100 | QFHDS -500-500-200 | |||||||
運動軸 | 軸系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 | mm | 300 | 300 | 50 | 400 | 400 | 100 | 500 | 500 | 200 | |
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | |||||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.35 | ±0.35 | ±0.5 | ||||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus值 | μm | ±0.075 | ±0.025 | ±0.1 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.075 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
直線度 | Plus值 | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.3 | ±1 | ±0.4 | ±1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.5 | ±2 | ±0.5 | ±2 | |||||
平面度 | Plus值 | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.75 | ±0.4 | ±0.75 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.5 | ±2 | ±0.5 | ±2 | |||||
Pitch/Roll/ Yaw | Plus值 | arc sec | ±0.5 | ±4 | ±1 | ±6 | ±1 | ±6 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±6 | ±1.5 | ±7.5 | ±1.5 | ±7.5 | |||||
正交性 | Plus值 | arc sec | 2 | 5 | 2 | 5 | 2 | 5 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 5 | 10 | 5 | 10 | 5 | 10 | |||||
電子分辨率 | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||||||
速度 | m/s | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | ||||
加速度 | m/s2 | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | ||||
負(fù)載 | Kg | 20 | 15 | 20 | 15 | 20 | 15 | ||||
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