精密氣浮直線臺，精密氣浮轉(zhuǎn)臺，多軸精密氣浮臺，精密直驅(qū)直線臺，多軸精密直驅(qū)直線臺，精密垂直升降臺，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子,冶金,航天,電氣 |
王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
三軸氣浮運動臺
產(chǎn)品型號：QFL3D系列
產(chǎn)品應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于精密加工，測試測量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對準(zhǔn)等行業(yè)。
產(chǎn)品圖片
產(chǎn)品特點
非接觸式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)
重復(fù)定位精度±75nm
結(jié)構(gòu)緊湊精度高
根據(jù)需求可定制
優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)。
結(jié)構(gòu)優(yōu)勢
QFL3D系列是一款非接觸式三軸氣浮運動臺，氣浮非接觸式結(jié)構(gòu)已經(jīng)證明是精密應(yīng)用中的理想選擇，適用于微納制造，測試測量和光子學(xué)對準(zhǔn)等應(yīng)用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是微動步距，還是速度穩(wěn)定性的要求，QFL3D都證明是終的解決方案。采用直線電機(jī)驅(qū)動，具有零齒槽效應(yīng)，高動態(tài)性能和電子噪音小等特點，高精度直線光柵反饋，搭配業(yè)界*的控制系統(tǒng)，組成三維運動系統(tǒng)，實現(xiàn)超精密定位。
定制化設(shè)計
根據(jù)用戶實際應(yīng)用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結(jié)構(gòu)，如單軸Z軸氣缸配重結(jié)構(gòu)，雙軸T形曲面加工結(jié)構(gòu)和三軸的行程大小等，都可以接受定制。為使阿貝誤差影響到小，可以定制化各軸，保證精度性能。
線纜管理
精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質(zhì)量的偏平電纜，以確保*操作，減少故障停機(jī)時間。
潔凈室兼容性
氣浮導(dǎo)軌本質(zhì)上與潔凈室環(huán)境兼容，高質(zhì)量的無塵線纜管理系統(tǒng)也符合實驗室環(huán)境，所以成為實驗室內(nèi)的理想選擇。
規(guī)格指標(biāo)
型號 | 單位 | QFL3D-50-50-25 | QFL3D-100-100-25 | QFL3D-150-150-25 | |||||||
運動軸 | 軸系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 | mm | 50 | 50 | 25 | 100 | 100 | 25 | 150 | 150 | 25 | |
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.1 | ±0.15 | |||||||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ||||||||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | |||||||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||||||
直線度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.5 | |||||||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±0.75 | |||||||||
平面度 | μm | ±0.5 | ±0.75 | ||||||||
電子分辨率 | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||||||
速度 | mm/s | 200 | |||||||||
加速度 | m/s2 | 1 , (5定制) | |||||||||
負(fù)載 | Kg | 5 | |||||||||
供氣壓力 | MPa | 0.5±0.05 | |||||||||
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