RBN150系列 納米級運(yùn)動臺
- 公司名稱 北京瑞邦精控科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 RBN150系列
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/12/1 17:59:30
- 訪問次數(shù) 702
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精密氣浮直線臺，精密氣浮轉(zhuǎn)臺，多軸精密氣浮臺，精密直驅(qū)直線臺，多軸精密直驅(qū)直線臺，精密垂直升降臺，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 8千-1.5萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子,印刷包裝,冶金,航天 |
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納米級運(yùn)動臺
產(chǎn)品型號：RBN150系列
產(chǎn)品應(yīng)用：納米級運(yùn)動臺應(yīng)用于微納加工、測試測量及光纖對準(zhǔn)等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
<< 非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)驅(qū)動
<< 抗蠕動交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向
<< 百納米級定位精度
<< 納米級微動步距
<< 高動態(tài)性能
<< 結(jié)構(gòu)可接受定制
產(chǎn)品用材設(shè)計
精密運(yùn)動臺采用非接觸式直線直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動，非常適合要求高精度的需求，其不會與磁鐵發(fā)生不良反應(yīng)，在低速運(yùn)行時也能保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)系也不會產(chǎn)生振動。直驅(qū)電機(jī)具有零間隙、零摩擦和良好的動態(tài)性能等特點(diǎn)。
抗蠕動交叉滾柱直線導(dǎo)軌導(dǎo)向，滾柱是線接觸，比滾珠接觸面積大，工作時比較平穩(wěn)；交叉排列,多方向受力時比較穩(wěn)定；該結(jié)構(gòu)可以把平臺高度降低，結(jié)構(gòu)緊湊，減小阿貝誤差的影響。
非接觸式光柵閉環(huán)反饋，優(yōu)化考慮熱膨脹的設(shè)計，這種緊湊是結(jié)構(gòu)設(shè)計，在有限的空間內(nèi)具有魯棒性和準(zhǔn)確度，獲得重復(fù)定位精度±75nm，微動步進(jìn)5nm.
Z軸采用低摩擦氣缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。
精密控制
配合業(yè)界上主導(dǎo)的控制器和驅(qū)動器相結(jié)合，可提供優(yōu)異的伺服性能、*的控制算法，從而提高動態(tài)性能?？刂破饔姓`差補(bǔ)償功能。
定制化設(shè)計
可定制用于真空環(huán)境下的版本。
根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、隔振臺、光學(xué)平臺等整套系統(tǒng)方案。
產(chǎn)品參數(shù)表
型號 | 單位 | RBN150-60-60-35 | RBN150-60-60-60 | RBN150-110-110-35 | RBN150-110-110-60 | ||
行程 | mm | 60x60x35 | 60x60x60 | 110x110x35 | 110x110x60 | ||
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.3 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±0.6 | |||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.15 | ||||||
直線度 | Plus值 | μm | ±0.75 | ±1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
平面度 | Plus值 | μm | ±1.5 | ±2 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±2 | ±2.5 | |||||
電子分辨率 | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
速度 | mm/s | 200 | |||||
加速度 | m/s2 | 5，（10定制） | |||||
負(fù)載 | Kg | 5 | |||||
正交性 | Plus值 | arc sec | ±2.5 | ||||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±5 | ||||||
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