真空運(yùn)動(dòng)臺(tái)
- 公司名稱(chēng) 北京瑞邦精控科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/12/1 17:43:51
- 訪問(wèn)次數(shù) 98
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精密氣浮直線臺(tái)，精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，多軸精密氣浮臺(tái)，精密直驅(qū)直線臺(tái)，多軸精密直驅(qū)直線臺(tái)，精密垂直升降臺(tái)，笛卡爾龍門(mén)系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材,電子,冶金,航天,綜合 |
王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
真空運(yùn)動(dòng)臺(tái) 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Y軸行程200mm，高真空直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，在低速運(yùn)行時(shí)保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不產(chǎn)生振動(dòng)。
真空交叉滾柱直線導(dǎo)軌導(dǎo)向，滾柱是線接觸，比滾珠接觸面積大，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。十字疊層結(jié)構(gòu)，使整體結(jié)構(gòu)更緊湊。真空潤(rùn)滑脂涂抹在真空導(dǎo)軌上，不易揮發(fā)。
盡可能的消除盲孔，在盲孔和螺栓處有通孔，保證安裝孔開(kāi)放式結(jié)構(gòu)。結(jié)構(gòu)件選用航空鋁合金件，清洗加工表面，高低溫?zé)崽幚硐庸?yīng)力，確保使用的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
使用聚四氟乙烯材質(zhì)的墊圈；螺釘中心帶通孔，結(jié)構(gòu)件消除盲孔，方便通風(fēng)排氣；軸側(cè)面無(wú)防塵設(shè)計(jì)，方便通風(fēng)排氣；線纜外表為特氟龍材質(zhì)，適用真空環(huán)境；提供真空腔外的配套連接法蘭及線纜。
真空運(yùn)動(dòng)臺(tái)規(guī)格指標(biāo)
軸系 | 測(cè)試項(xiàng)目 | 單位 | 指標(biāo)要求 | 實(shí)測(cè)指標(biāo) |
X 軸 | 行程 | mm | 380 | 380 |
補(bǔ)償后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
雙向重復(fù)定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±3 | ±1.45 | |
Yaw | arc sec | ±15 | ±7.45 | |
Pitch | arc sec | ±15 | ±2.9 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 200 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微動(dòng)步距 | nm | 10 | 10 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補(bǔ)償后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.2 | |
雙向重復(fù)定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
Yaw | arc sec | ±7 | ±5 | |
Pitch | arc sec | ±7 | ±3 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微動(dòng)步距 | nm | 10 | 10 | |
XY | 負(fù)載 | kg | 15 | 15 |
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