共聚焦白光干涉儀

使用Sensofar專(zhuān)有技術(shù)開(kāi)發(fā)的共聚焦白光干涉儀，其共聚焦部分的主要優(yōu)點(diǎn)是有著*發(fā)光效率的照明硬件和高對(duì)比度算法。這些特點(diǎn)使系統(tǒng)成為測(cè)量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設(shè)備。共聚焦白光干涉儀是以干涉輪廓儀部分的重要關(guān)鍵。這項(xiàng)技術(shù)對(duì)于測(cè)量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術(shù)的組合為neox提供了無(wú)限寬廣的應(yīng)用領(lǐng)域。
該neox可用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。設(shè)備沒(méi)有移動(dòng)部件使其擁有堅(jiān)固而緊湊的設(shè)計(jì)，同時(shí)也使得該探頭適合很多OEM應(yīng)用。極其簡(jiǎn)單的、符合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶(hù)獲得非?？斓臏y(cè)量速度，只需方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R，調(diào)焦，并選擇適當(dāng)?shù)牟杉Ｊ郊纯伞?/span>

■ 微顯示共聚焦掃描

目前的共聚焦顯微鏡都使用有著可移動(dòng)機(jī)械裝置的鏡面掃描頭，

這會(huì)限制其使用壽命，并且在高倍率時(shí)降低像素抖動(dòng)優(yōu)化效果。

對(duì)于共焦掃描，neox使用基于微型顯示器的Sensofar技術(shù)。

該微型顯示器基于鐵電液晶硅(FLCoS)，一種沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件的快速

切換裝置，使共焦圖像的掃描更快速、穩(wěn)定并擁有無(wú)限的壽命。   

■ 彩色CCD攝像頭
Neox使用一個(gè)高速高分辨率的黑白CCD攝像頭為系統(tǒng)計(jì)量探頭。

另一個(gè)彩色攝像頭可用于明場(chǎng)表面觀(guān)察。這樣使得它很容易找

出所分析樣品的特點(diǎn)。此外，地貌測(cè)量功能可得到全聚焦彩色

圖像。該系統(tǒng)在垂直掃描過(guò)程中記錄圖像合焦位置像素，并和

其Z軸位置匹配從而得到全聚焦彩色圖像，并以此來(lái)創(chuàng)建出色的三維模型。

■ 物鏡
Neox使用*的CFI60 Nikon物鏡，在各NA時(shí)都有大的工作距離。

可選用的物鏡超過(guò)50種，每一款都可對(duì)應(yīng)某種特別應(yīng)用：可用于共聚焦

成像和建模的較高NA，倍率范圍2.5X至200X，超長(zhǎng)工作距離，特長(zhǎng)工作

距離及浸水物鏡；帶調(diào)焦環(huán)的物鏡可在厚2mm范圍的透明介質(zhì)對(duì)焦；

2.5X至100X帶參考鏡校正及頂端傾斜的物鏡。

■ 雙垂直掃描器
雙垂直掃描器包括一個(gè)電動(dòng)平臺(tái)和壓電掃描器，以獲得高的掃描范圍和

高的測(cè)量精度及重復(fù)精度。高定位精度的線(xiàn)性平臺(tái)行程40mm，小步進(jìn)

可達(dá)10nm，用于共聚焦掃描非常理想。集成的壓電掃描器高掃描范圍200μm，

壓電電阻傳感器高定位分辨率0.2nm，全行程精度1nm。現(xiàn)有的其它掃描平臺(tái)使

用光學(xué)編碼器，精度僅30nm且不確定，限制了系統(tǒng)的確度和重復(fù)性。結(jié)合線(xiàn)

性平臺(tái)和壓電掃描器的*設(shè)計(jì)，使Neox在0.1納米至幾毫米測(cè)量范圍內(nèi)擁有業(yè)

高的精度，線(xiàn)性和重復(fù)性。