共聚多面疊加技術(shù)三合一于一身干涉儀

共聚多面疊加技術(shù)三合一于一身干涉儀譜反射法是薄膜測量的方法之一，因為它準(zhǔn)確、無損、迅速且無需制備樣品。測量時，白光照射到樣品表面，并將在膜層中的不同界面反射，并發(fā)生干涉和疊加效應(yīng)。結(jié)果，反射光強(qiáng)度將顯示出波長變化，這種變化取決于薄膜結(jié)構(gòu)不同層面的厚度和折射率。軟件將測得的真實光譜同模擬光譜進(jìn)行比較擬合，并不斷優(yōu)化厚度值，直到實現(xiàn)佳匹配。

共聚多面疊加技術(shù)三合一于一身干涉儀也可用作高分辨率的薄膜測量系統(tǒng)，它適用于單層箔，膜或基板上的單層薄膜，而且還可以處理更復(fù)雜結(jié)構(gòu)(高可至基板上10層薄膜)?？稍谝幻雰?nèi)測量從10nm到20μm的透明薄膜，厚度分辨率0.1 nm，橫向分辨率達(dá)5μm。

應(yīng)用舉例

表面形貌觀測

太陽能硅片的表面，不論是多晶還是單晶，在微觀下表面的起伏都相當(dāng)劇烈。傳統(tǒng)的分析設(shè)備，很難講形貌正確地顯示和測量。PLu設(shè)備因為具有可以量測大斜率的優(yōu)勢，所以可將表面呈現(xiàn)得相當(dāng)完整。