化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>Centrotherm RAPID 150 Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
Centrotherm RAPID 150 Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Centrotherm RAPID 150
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/25 16:15:34
- 訪問次數(shù) 914
產(chǎn)品標簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
|---|
Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
一、產(chǎn)品簡介
德國Centrotherm公司是國際主流的半導體設備供應商，尤其在高溫設備領域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火設備，主要用于滿足研發(fā)和小規(guī)模量產(chǎn)所需的多種工藝要求。
Centrotherm測溫系統(tǒng)適用于從室溫至高溫的廣泛區(qū)間。Centrotherm優(yōu)化的多區(qū)溫控系統(tǒng)結(jié)合可以獨立控制的加熱燈，提供了出色的控溫精度和控溫重復性。
此款設備配置手動裝載系統(tǒng)，適用于研發(fā)以及小型的量產(chǎn)。
成熟的真空操作和氣體管理系統(tǒng)為多種應用提供了可控的氣體環(huán)境。出色的性能和高度的靈活性，結(jié)合小的占地面積，低的客戶擁有成本，使c.RAPID 150成為一款最佳的手動RTP設備。
二、典型應用
退火：一般退火、接觸層（Contact）退火、源/漏退火、勢壘金屬退火
硅化
氧化
摻雜活化
三、產(chǎn)品特性
可在常壓或者真空（控壓）下工作
高度靈活性：適用于最大6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盤
升溫速率約150 K/s
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