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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>制樣/消解設(shè)備>其它消解設(shè)備>Centrotherm RTP 150 Centrotherm 快速熱工藝設(shè)備-RTP 150

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Centrotherm RTP 150 Centrotherm 快速熱工藝設(shè)備-RTP 150

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Centrotherm RTP 150
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 16:17:58
  • 訪問次數(shù) 1240

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子

Centrotherm 快速熱工藝設(shè)備-RTP 150

一、產(chǎn)品簡介

德國Centrotherm公司是國際主流的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,尤其在高溫設(shè)備領(lǐng)域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速熱工藝設(shè)備,主要用于滿足研發(fā)和小規(guī)模量產(chǎn)所需的多種工藝要求。

 

RTP 150型快速熱反應(yīng)設(shè)備,采用緊湊型的真空腔室設(shè)計滿足多種工藝需要,是一款可用于生產(chǎn)和研發(fā)用的單晶圓工藝設(shè)備。

RTP 150型設(shè)備包括一個帶集成壓力學(xué)習(xí)控制壓力范圍在1mbar至50mbar的真空腔室。采用燈管加熱系統(tǒng)提供了可調(diào)節(jié)的加熱均勻性控制,采用了CENTROTHERM公司技術(shù)的溫度控制系統(tǒng)。

RTP系統(tǒng)可用于6寸晶圓和5寸石墨基板的加熱??稍?5分鐘內(nèi)更換基板的尺寸和類型。

設(shè)備用于高性能、小占地面積、低成本高工藝靈活性的工藝場合。

 

設(shè)備特點:

壓力可控的真空或大氣環(huán)境下工作

高靈活性:最大6寸硅片或其他材料

溫度范圍:20℃~1150℃

*加熱的工藝溫度可達 750℃



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