Centrotherm Activator150 高溫退火爐系統(tǒng)
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Centrotherm Activator150
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/25 16:11:06
- 訪問次數(shù) 1114
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子 |
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Centrotherm 高溫退火爐系統(tǒng)-Activator 150
一、產(chǎn)品簡介
Centrotherm Activator 150 高溫爐設(shè)計用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm*工藝爐管和加熱系統(tǒng)設(shè),允許工藝溫度達(dá)到 1850 ℃。
此外,Activator 150 系列的產(chǎn)品可以實現(xiàn)生長石墨烯生長。通過碳化硅升華生長石墨層可以獲得高性能器件。
Centrotherm 新一代SiC工藝爐管的研發(fā)用以滿足新興的150 毫米 SiC工藝。
Centrotherm Activator 150-5 是為研發(fā)工作而特制的,而Centrotherm Activator 150-50專為大批量生產(chǎn)設(shè)計。
廣泛的工藝范圍實現(xiàn)了對自定義化程序的優(yōu)化, 例如溫度, 氣路系統(tǒng)和壓力。
二、典型應(yīng)用
SiC器件高溫退火 (注入后)
GaN器件退火
大面積石墨烯生長
SiC表面制備
三、產(chǎn)品特性
性能和優(yōu)勢
高活化
小表面粗糙度
最大溫度可達(dá) 1850 ℃
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