非標定制 電子束蒸鍍機
- 公司名稱 鵬城半導體技術(shù)（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 非標定制
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/11/1 15:13:43
- 訪問次數(shù) 411
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鵬城半導體技術(shù)（深圳）有限公司(簡稱：鵬城半導體），由哈爾濱工業(yè)大學（深圳）與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿與市場前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新yin/ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
公司核心業(yè)務是微納技術(shù)與gao duan精密制造，具體應用領(lǐng)域包括半導體材料、半導體工藝和半導體裝備的研發(fā)設計和生產(chǎn)制造。
公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊；還有來自工業(yè)界的高級裝備設計師團隊，他們具有20多年的半導體材料研究、外延技術(shù)研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。
公司依托于哈爾濱工業(yè)大學（深圳），具備*的半導體研發(fā)設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。
半導體材料,工藝和裝備的研發(fā)設計,生產(chǎn)制造
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
電子束蒸鍍機是在高真空條件下，采用電子束轟擊材料加熱蒸發(fā)的方法，在襯底上鍍制各種金屬、氧化物、導電薄膜、光學薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬膜等；可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜；可鍍各種高熔點材料。
可用于生產(chǎn)、科學實驗及教學，可根據(jù)用戶要求專門訂制。
可根據(jù)用戶使用要求，選配石英晶體膜厚自動控制及光學膜厚自動控制兩種方式, 通過PLC 和工控機聯(lián)合實現(xiàn)對整個鍍膜過程的全程自動控制, 包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過程和膜層厚度的監(jiān)控功能等，從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。
設備特點
電子束蒸鍍機設備具有真空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點，配備 E 型電子束蒸發(fā)源和電阻蒸發(fā)源。PID自動控溫，具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優(yōu)點。
可根據(jù)用戶使用要求，選配石英晶體膜厚自動控制及光學膜厚自動控制兩種方式,通過PLC和工控機聯(lián)合實現(xiàn)對整個鍍膜過程的全程自動控制,包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過程和膜層厚度的監(jiān)控功能等，從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。
真空性能
極限真空：7×10∧-5Pa～7×10∧-6Pa
設備總體漏放率：關(guān)機12小時，≤10Pa
恢復工作真空時間短，大氣至7×10-4Pa≤30分鐘；
設備構(gòu)成
E 型電子束蒸發(fā)槍、電阻熱蒸發(fā)源組件（可選配）、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測量系統(tǒng)、分子泵真空機組或低溫泵真空機組、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、樣品傳遞機構(gòu)，膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成。
可選件：膜厚監(jiān)控儀，恒溫制冷水箱。
熱蒸發(fā)源種類及配置
| 項目 | 參數(shù) | 備注 |
|---|---|---|
| E 型電子束蒸發(fā)系統(tǒng) | 1套 | |
| 功率 | 6kW～10kW | 其它功率(可根據(jù)用戶要求選配） |
| 坩堝 | 1～8只 | 可根據(jù)用戶要求選配 |
| 電阻熱蒸發(fā)源組件 | 1～4套 | （可根據(jù)用戶要求配裝） |
電阻熱蒸發(fā)源種類
-鉭（鎢或鉬）金屬舟熱蒸發(fā)源組件
-石英舟熱蒸發(fā)源組件
-鎢極或鎢藍熱蒸發(fā)源組件
-鉭爐熱蒸發(fā)源組件（配氮化硼坩堝或陶瓷坩堝）
-束源爐熱蒸發(fā)組件（配石英坩堝或氮化硼坩堝）
操作方式
手動、半自動
1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7
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