半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 賽默飛電子顯微鏡
- 品牌 FEI/賽默飛
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/8/28 13:46:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 501
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類(lèi) | 熱場(chǎng)發(fā)射 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工 |
半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM
用于半導(dǎo)體計(jì)量和工藝表征的高生產(chǎn)率透射電子顯微鏡
半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM主要特點(diǎn)
一致、可重復(fù)、精確
全新設(shè)計(jì)，提供可重復(fù)的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計(jì)量能力的計(jì)量器。
計(jì)量準(zhǔn)確度
TEM 和 STEM 失真和放大率校正的組合誤差小于 0.75%。
自動(dòng)化 EDS 和混合計(jì)量
通過(guò)自動(dòng)化獲取和量化 EDS 數(shù)據(jù)。使用關(guān)鍵尺寸元件對(duì)比度來(lái)擴(kuò)展 STEM。
工作流程連通性
通過(guò)樣品制備、提取和成像跟蹤關(guān)鍵工藝數(shù)據(jù)。計(jì)量可離線應(yīng)用，從而極大增加工具采集時(shí)間。所有成像和計(jì)量數(shù)據(jù)均整合在基于網(wǎng)絡(luò)的圖像查看器中。
高壓范圍 (kV) | 60-200 kV | |
信息限度 200 kV (nm) | 0.11 | |
未校正 | 探頭校正* | |
STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV |
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STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV |
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用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的計(jì)量精密度 |
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電子源 |
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超穩(wěn)定電子設(shè)備和高壓 |
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隔音罩 |
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恒定功率透鏡 |
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壓電載物臺(tái) |
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探頭校正器兼容 |
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