PSM 標(biāo)準(zhǔn)型手動(dòng)室溫探針臺
- 公司名稱 上海胤企制冷設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號 PSM
- 產(chǎn)地 中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)麗正路 1628 號 4 幢 1-2層
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/4/23 13:24:23
- 訪問次數(shù) 115
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樣品座尺寸 | 2/4/6/8英寸 | 移動(dòng)精度 | 10μm |
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滑臺尺寸 | 250mm×250mm | 顯微鏡放大倍數(shù) | 10-180倍 |
顯示器屏幕尺寸 | 21.5英寸 |
Avantgarde 室溫手動(dòng)探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺,外接不同的測量儀器,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,用于室溫下的芯片、晶圓和器件的非破壞性測試。
PSM系列室溫手動(dòng)探針臺是一款高品質(zhì)的探針臺能夠?qū)?寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進(jìn)行大量非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn),外接不同的測試設(shè)備,可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量??茖W(xué)的桌面設(shè)計(jì)是學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)研究。
特點(diǎn)
• 穩(wěn)定的雙位移調(diào)節(jié)系統(tǒng),可以調(diào)節(jié)樣品座和探針臂的位移。
• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品,采用多孔分區(qū)控制氣體吸附固定。
• 移動(dòng)樣品座下面的滑臺,可以實(shí)現(xiàn)X-Y軸±100mm的移動(dòng)行程,使得樣品測試和換樣更加便捷。 滑臺采用磁力吸附固定。
• 最多可安裝6個(gè)探針臂。
• 探針臂采用磁鐵吸附,可任意移動(dòng),并且可以三維微調(diào),操作方便,扎針精準(zhǔn),四個(gè)探針臂的探針 可以扎到樣品的任意位置。
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭,漏電流小,在100fA以內(nèi)。
• CCD放大倍數(shù)為180倍,工作距離為100mm。