PSV-4 手動真空探針臺

Avantgarde 室溫真空探針臺能夠為半導體芯片的電學參數測試提供一個室溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。

PSV系列室溫真空探針臺是一款專門針對室溫真空電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，能夠對2寸、4寸晶圓片進行重復非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量和RF測量。

特點

• 真空腔極限真空度能夠達到5E-4 mbar，通過真空泵連接KF25法蘭抽真空。

• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，探針臂的位移調節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。探針臂可在X-Y-Z-R范圍內進行四維調節(jié)，能滿足4英寸范圍內全部位置的扎針測試。

• 真空腔材質為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩(wěn)定性。

• 直流探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，使用4200實測漏電流小于100fA @1V。

• 設計的柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞。

• 可選微波探針臂，頻率可達到110GHz。