PSEM 電磁鐵探針臺(tái)

Avantgarde 室溫電磁鐵探針臺(tái)不僅可以完成永磁鐵探針臺(tái)所能完成的測(cè)試，并且可以為樣品測(cè)試提供一個(gè)可變磁場(chǎng)，磁場(chǎng)較強(qiáng)，磁場(chǎng)均勻區(qū)較大。此款探針臺(tái)專門為在測(cè)量過程中需要連續(xù)磁場(chǎng)變化的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，在室溫下對(duì)芯片、晶圓和器件進(jìn)行非破壞測(cè)試。

PSEM系列室溫電磁體探針臺(tái)是一款專門針對(duì)室溫可變磁場(chǎng)電測(cè)環(huán)境開發(fā)的探針臺(tái)，提供±0.6T垂直磁場(chǎng)或±0.3T水平磁場(chǎng)，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進(jìn)行重復(fù)性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測(cè)試設(shè)備可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和霍爾測(cè)量。

特點(diǎn)

• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，通過移動(dòng)樣品座下面的滑臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)X-Y軸±50mm的移動(dòng)行程，并且樣品座本身可以進(jìn)行三維上的精細(xì)調(diào)節(jié)，使得樣品測(cè)試和換樣    更加便捷。

• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個(gè)維度上進(jìn)行調(diào)節(jié)，配合樣品座位移調(diào)節(jié)，可滿足探針快速扎到4英寸樣品的任意位置（探針臂最多可安裝6個(gè)，水平    磁場(chǎng)電磁鐵探針臺(tái)最多可安裝4個(gè)）

• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內(nèi)，探針臂內(nèi)置線纜，避免雜亂的走線

• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電

• 電磁鐵支架與探針臺(tái)采用分體隔離支架，在磁體運(yùn)動(dòng)時(shí)避免振動(dòng)傳導(dǎo)到樣品上

• 樣品固定方式采用多孔分區(qū)吸附，有外圈、內(nèi)圈和中間三個(gè)單獨(dú)控制的氣體吸附通道，最小可吸附固定1mm*1mm樣品

• CCD放大倍數(shù)為180倍，工作距離為100mm