M+100CD 全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)
| 參考價(jià) | ￥1000000.00 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 西安愛姆加半導(dǎo)體有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號(hào)M+100CD
- 所在地西安市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2024/3/8 13:53:27
- 訪問次數(shù) 386
產(chǎn)品標(biāo)簽
全自動(dòng)勻膠機(jī)全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)穩(wěn)定性
規(guī)格
| 2-8 | 1000000.00元 | 20 件可售 |
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一、使用領(lǐng)域:IC半導(dǎo)體、LED、Bumping、化合物、光通訊、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圓尺寸：Φ2"-8"
Spin motor主軸轉(zhuǎn)速：0-8000rpm±1rpm
Uniformation膜厚均勻性：＜1％(參考AZ1500）
Temperation溫度均勻性：0-250℃±0.5℃
MTBF：≥1500小時(shí)Uptime：95％
二、涂膠單元 Coater Uint：膠盤：Teflon，Delrin
可編程移動(dòng)式滴膠
可配3路噴嘴
正/背面去邊清洗
主軸電機(jī)：伺服電機(jī)（高速：8000rpm）
勻膠溫度控制（選配）
噴嘴預(yù)清洗（選配）
環(huán)境溫濕度控制（選配）
三、顯影單元 Developer：
膠盤:Delrin
4路噴液（2 spray，1 streaam, 1 Dl water）
主軸電機(jī)：伺服電機(jī)（高速：8000rpm）
背面清洗
滴液方式：膠泵或壓力罐
液體溫度控制（選配）
排風(fēng)控制
體積尺寸：1400mm（W）×1400mm（D）×1700mm(H)一、使用領(lǐng)域:IC半導(dǎo)體、LED、Bumping、化合物、光通訊、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圓尺寸：Φ2"-8"
Spin motor主軸轉(zhuǎn)速：0-8000rpm±1rpm
Uniformation膜厚均勻性：＜1％(參考AZ1500）
Temperation溫度均勻性：0-250℃±0.5℃
MTBF：≥1500小時(shí)Uptime：95％二、涂膠單元 Coater Uint：膠盤：Teflon，Delrin可編程移動(dòng)式滴膠
可配3路噴嘴
正/背面去邊清洗
主軸電機(jī)：伺服電機(jī)（高速：8000rpm）
勻膠溫度控制（選配）
噴嘴預(yù)清洗（選配）
環(huán)境溫濕度控制（選配）三、顯影單元 Developer：膠盤:Delrin
4路噴液（2 spray，1 streaam, 1 Dl water）
主軸電機(jī)：伺服電機(jī)（高速：8000rpm）
背面清洗
滴液方式：膠泵或壓力罐
液體溫度控制（選配）
排風(fēng)控制
體積尺寸：1400mm（W）×1400mm（D）×1700mm(H)
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